Orsök ójafnvægis á Sprengjuhúðun Magnetron

Sama hvers konar tómarúmskostnaður vél, mun einsleitni húðunin verða fyrir áhrifum af ákveðnum þáttum.

Rekstur magnetron sputtering tómarúm húðun vél er að gera rafeindir sprengja argon jónir myndast af argon gasi og þá bombard miða af rétthyrndum segulsvið undir tómarúm ástandi og miða jónir eru afhent á yfirborð vinnustofunnar að mynda húðun. Þannig getum við litið svo á að tómarúmið, segulsviðið og argonið eru þrír þættir sem tengjast jafnleiki kvikmyndarþykktarinnar.

Tómarúmið er stjórnað með loftdælukerfi. Hvert dæluhöfn verður að vera virkjað á sama tíma með stöðugri styrk þannig að unnt sé að tryggja einsleitni dælunnar. Ef dælingin er ekki samræmd, getur þrýstingurinn í lofttæmiskólanum ekki verið einsleitur, þar sem þrýstingur hefur einhver áhrif á hreyfingu jónar. Að auki þarf að stjórna dælutímanum. Of stuttur mun valda ófullnægjandi tómarúm, en það verður sóun á auðlindum ef það er of langt. En tilvist tómarúmsmælanna gerir það nauðsynlegt.

Segulsviðið vinnur með orthogonally, en það er ómögulegt að gera segulsviðsstyrkinn 100% einsleit. Almennt, þar sem segulsviðið er sterkt, verður kvikmynd þykkt að vera stór og öfugt, þannig að kvikmynd þykktin verður ósamræmi.

Jafnrétti argon gas framboðsins hefur einnig áhrif á einsleitni kvikmyndarinnar. Meginreglan er svipuð tómarúm gráðu. Vegna inngöngu argongas mun þrýstingurinn í lofttæmishólfi breytast í samræmi við það. Samræmi á myndinni þykkt er hægt að stjórna með samræmdu þrýstingi.

Þó að það séu alltaf nokkrir þættir sem valda ójafnvægi kvikmyndarinnar, en framhleypni kvikmyndarinnar er mjög mikil ef rétta notkun tómarúmmálsvélin er gerð.