Kynna Mass Flow Controller

Massflæði stjórnandi (MFC) er notaður til að ná nákvæmum mæli og eftirlit með massastreymi gasi. Það er venjulega samsett af flæðisskynjara, flæðisstýringuventi, mælingarstýringu og rásastýringarmás. Vinnuafl hennar og flæði sýna og stilling aðgerðir með stuðningsflæði sýna aflgjafa.

Notkun og eiginleikar

MFC gegnir mikilvægu hlutverki í vísindarannsóknum og framleiðslu á mörgum sviðum eins og hálfleiðara örverukerfi, sérstök efni þróun, efnaiðnaði, jarðolíu iðnaður, læknisfræði, umhverfisvernd og tómarúm.

Dæmigert forrit eru: Rafræn vinnubúnaður eins og dreifing, oxun, epitaxy, CVD, plasmaþekking, sputtering, jón ígræðsla; og tómarúmi húðun búnað, gas chromatographs og önnur greiningarfæri.

Massflæðisstýring og massamælismælir með mikilli nákvæmni, góða endurtekningarnákvæmni, hraðvirka hraða, mjúkan byrjun, stöðugt og áreiðanlegt vinnuþrýstingsvið (sem getur unnið við háþrýsting eða lofttæmi), aðgerðin er auðveld í notkun. MFC er hægt að setja í hvaða stöðu sem er og er tengdur við tölvuna til að átta sig á sjálfstýringu.

Flæðimælirinn skiptist yfirleitt í eftirfarandi gerðir:

1. Volumetric flowmeter

Það notar vélræna mælikerfið til að skipta vökvunni stöðugt í eina þekkta rúmmálshluta. Rúmmálstreymi vökvans er mældur í samræmi við fjölda tíma rúmmáls vökva sem fyllt er og losaður einn eftir annan í röð frá mælikerfinu.

2. Flotmælir (flæðimælir)

Flotflæðimælirinn er eins konar breytilegt flæðimælir, í lóðréttri keilu frá upp til niður, er hringlaga þversnið flotþyngdaraflsins studd af vökvaaflinu þannig að flotið sé laus í keiluna Rís og fallið.

3. Mismunandi þrýstingsmælir

Það byggist á mismunþrýstingnum sem myndast af flæðisskynjari sem er settur upp í pípunni, ástandi þekktra vökva og mælirinn til að reikna út flæði milli pípunnar og pípunnar.

4. Vortex Street Flowmeter (VSF)

Óvirka vortex rafallinn er settur í vökvanum og vökvinn er skipt til skiptis á báðum hliðum kynslóðarins til að losa tvær röð af reglulegu millibili.

5. Turbine flowmeter

Það er aðal tegund hraða rennsli. Það notar multiflöturinn (turbine) til að skynja meðalhraða vökva og dregur úr mælitæki rúmmáls eða heildarmagns.

6. Ultrasonic flowmeter

Það er mæling á flæði með því að mæla áhrif vökvaflæðis á ultrasonic beam (eða ultrasonic púls).

7. Rafstýringarmælir

Rafstraumsmælirinn er eins konar tæki til að mæla leiðni vökvans í samræmi við lög Faradays rafsegulsviðs.

8. Hitamassafljósmælir

Hitamælirinn er með tveimur skynjunarþáttum, hraða skynjara og hitamæli. Þeir geta sjálfkrafa bætt og stillt hitastigið á gasinu. Rafmagnshitunarhlutur tækisins hituð hraðarskynjaranum að ákveðnu gildi sem er hærra en hitastig vinnuskilyrksins, þannig að stöðug hiti munur á hraða skynjari og skynjara við vinnuskilyrði. Þegar hitastigsmunurinn er stöðugur, er orkunotkun rafmagnshitunar í réttu hlutfalli við massastreymi gasflæðis og er hentugur til að mæla eitt gas og föst hlutfall fjölfasa gas.