Gerðu val af tómarúmseiningu
Jun 30, 2018| 1. Samsetning og flokkun tómarúmseininga
Tómarúmseiningin samanstendur almennt af eftirfarandi hlutum: ýmis tómarúm dælur, tómarúm mælingar tæki, tómarúm lokar, tómarúm pípur og sumir aðrir hlutar eins og blásarar, tómarúm liðum, geymslu geymum, bellows, ryk safnara og tómarúm relays.
Samkvæmt vinnuþrýstingi einingarinnar eru gróft tómarúm einingar (> 1330Pa), lágþrýstings einingar (1330 ~ 0.13Pa), háþrýstingseiningar (0,13 ~ 1,3x10-6Pa) ) ~ 1,3 × 10-11 Pa) og mjög hátt tómarúm eining (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Low Vacuum Unit
Helstu eiginleikar lágþrýstibúnaðarins eru miklar vinnuþrýstingur og miklar tilfærslur, en dælurhraði er lægra en í háum lofttæmiseiningunni. Það er aðallega notað fyrir gróft dælu í tómarúmshólfinu og sumum tómarúmseiningum sem þurfa mikla vinnuþrýsting eins og tómarúmi útblástursloftar, lofttæmigreiningareiningar, tómarúm sól einingar, tómarúm afrennsli einingar, tómarúm þurrkun einingar og svo framvegis. Helstu dælur í lágþrýstibúnaðinum eru almennt reciprocating tómarúm dælur, olíu innsigli tómarúm dælur, vatn þota dælur, vatn gufu þota dælur, vatn hringur dælur, olíu gufu þota dælur, sameinda sigti aðsog dælur og rætur dælur. Þegar lágþrýstingsbúnaður er notaður er einnig nauðsynlegt að stilla hluti eins og rykara og þurra síu í samræmi við ferli kröfur um hreinleika og raka gassins sem á að dæla.
3. High Vacuum Unit
3.1 Veldu aðaldælu. Helstu dæla getur verið dreifingu dæla, sameinda dæla, Sputter jón dæla, títan dæla, cryogenic dælu og svo framvegis.
3.2 Veldu stuðningsdæluna og gasgeymslupípuna (höggheldur, stytið vinnslusniðið, koma í veg fyrir mikinn loftþrýsting í lofttæmiskólanum og stöðugdu útstreymisþrýsting dreifingardælunnar)
4. Ultra-High Vacuum Unit
Endanlegt tómarúm aðaldælunnar er hátt, lekahlutfallið er lágt og það er ónæmt fyrir bakstur við 200-450 ° C.
4.1 Diffusdælaeiningar: draga úr bakflæði og stjórna mengun.
4.2 Molecular pump unit: Þjöppunarhlutfallið í vetni er lítið og leifargasið er aðallega vetni.
4.3 Sputter jón dæla eining: Venjulega notuð ásamt títan dælu.
4.4 Cryogenic dæla eining: engin mengun.