Aðferðin við framleiðslu ZnO: Al (AZO) Thin Films By Magnetron Sputtering Coating

Ferlið við að framleiða ZnO: Al (AZO) þunnt kvikmyndir með segulmagnaðir sputteringhúð

Á þessari stundu eru helstu sólfrumur í þunnum kvikmyndum: CD (CdTe) sólfrumur úr þunnum kvikmyndum, sefrum (CIS), sólfrumur úr þunnum kvikmyndum, sólfrumur úr þynnu kvikmyndum og sílikonum með kísilþynnum kvikmyndum. Rannsakendur hafa þróað suede ZnO: Al skurður uppbygging sem er ódýr, ríkur í hráefni, óoxandi og stöðug í frammistöðu. AZO gagnsæ leiðandi kvikmynd með gígur-eins suede uppbyggingu getur aukið dreifingu áhrif sólarljós, bæta ávöxtun áhrif, auka sólarorku frásog rafhlöðunnar og bæta viðskipti skilvirkni þunnur sól frumur kvikmynda. The magnetron sputtering húðun aðferð til að gera AZO gagnsæ leiðandi filmu á gler hvarfefni hefur kosti hrað myndunar myndun, samræmdu kvikmynd lag og stór myndun mynda svæði.

Grundvallarreglan um sprautunarferli magnetron sputtering: Sérhönnuð rafskaut og bakskaut eru sett í lokuðu tómarúmshólfið, þar sem bakskautið er búið sprotefni og Ar, O2, N2 og önnur vinnsluefni eru fyllt í tómarúmshólfið. Undir virkni ytri spennu mynda ferli gas sameindir jónnun og mynda plasma. Jákvæð hleðslutjónin eru knúin til bakskautsins með rafmagnssvæðinu og þeir sprengja yfirborð markmiðsins. The bombarded miða atómin inn í ákveðinn hraða til að mynda þunnt filmu á yfirborði glerins. Hvað varðar val á miðunarefnum eru tvær tegundir af miðunarefni sem notuð eru í framleiðslu á gagnsæri leiðandi filmu AZO með sprautunarferli magnetron. A sink - ál málm miða. Samkvæmt raunverulegum aðstæðum, veldu viðeigandi miða vörur. Hvað varðar hitastig glerefnisins er sýnt að hitastig gler hvarfefnisins er lágt, hreyfigetu kvikmyndatómanna á undirlaginu er lélegt, myndunarhraðinn minnkar, ójöfnur kvikmyndalagsins aukast, tengingarkraftur milli kvikmynda og gler undirlags er veikur og viðnám er aukin. Hár gler hitastig, vera gagnlegt fyrir þunnt kvikmynd vöxtur, himna lag slétt samræmdu, himna lag af sólinni hár ljós transmittance, almennt hvarfefni hitastig milli 200 ~ 300 ℃ . Að því er varðar val á sprautunarþrýstingi á gasi er viðeigandi þrýstingsvala sprauta í magnetron 1,33 x 10-1 Pa ~ 1,33 x 10-2 Pa stærðargráðu. Ef þrýstingurinn er of hár eða of lágur, er það ekki stuðla að myndun góðs gæða AZO gagnsæ leiðandi kvikmynd.

Sem nýtt TCO efni, AZO hefur mikla kosti yfir ITO og FTO. Til þess að ná fram stórum iðnvæðingu verður að framkvæma frekari rannsóknir og þróun á hvernig á að draga úr búnaði og vinna úr kostnaði. Grundvallaratriði ákvarðar byggingarframmistöðu AZO þunnt kvikmyndar rafmagnsvirkni þeirra. Nauðsynlegt er að gera fleiri rannsóknir á vinnubrögðum til að ná fram vinnumarkaðsástandi með háum gæðum og litlum tilkostnaði.

IKS PVD sérsniðin viðeigandi pvd tómarúm húðun vél fyrir þig, hafðu samband við okkur núna,

iks.pvd@foxmail.com