Bestu leka skynjun tækni fyrir PVD húðun vél

Greining á kúluaðferð

PVD húðun kúla aðferð uppgötvun er valinn fyrir PVD húðun gáma eða tæki sem eru að vinna. PVD húðun kúla aðferð uppgötvun þýðir að fylla prófað hluti með ákveðnum þrýsting leka vísbending gas, og þá setja prófað hluti í vökvann. Gasið kemst í vökvann í kringum lekaholið til að mynda loftbólur. Og staðurinn þar sem loftbólur eru staðsetning lekahola. Enn fremur er hægt að meta lekahlutfall holunnar í samræmi við myndunartíðni og stærð loftbólanna, svo og eðlisfræðilegir eiginleikar lekaílátgasins.

Skoðunaraðferð skynjun

Skoðunaraðferð Viðurkenning vísar til aðferð sem nær yfir alla PVD húðunarbúnaðinn með etýlen plastpoki (kápa) og síðan fylla pokann með helíum, þ.e. allt lofttæmi ílátið er sökkt í helíum til að greina leka. Eftir að gasið hefur verið að fullu rýmkað, láttu aðalventilinn, gróft loki og leka loki slökkva. Og þá nota BA jónunar tómarúm mál til að mæla breytinguna á hækkun þrýstings til að ákvarða hvort það sé leki.

PVD-húðin er summan af þrýstingshækkun vegna gasleka og þrýstingshækkunar af völdum efnisins, og að lokum er það línuleg aukning sem er í réttu hlutfalli við tíma. Þegar PVD húðunarferillinn sýnir slíkt ástand eins og lýst er hér að ofan, þýðir það að tækið lekur. Þegar ekki er leki og aðeins efnið afleitar, ætti ferillinn að vera mettuð. Ef það er aðeins leki án efnisgreiningar, þá er það bein lína sem er í réttu hlutfalli við tíma í upphafi.