Rannsókn á einsleitni TiN sem er sett á Ryðfrítt stálplötu með því að nota Multi-Arc Ion Plating

Rannsókn á einsleitni TiN sett á ryðfríu stáli disk með multi-arc jón málun

Multi-arc jón málun er húðun aðferð þróuð til góðs diffraction, sem hægt er að nota til að undirbúa málm kvikmyndir, ál kvikmyndum, samsettum kvikmyndum og fjölhreyfingar uppbyggingu kvikmyndir. Vegna mikillar málm jónunarhraða og hár jónorku, þessi tækni getur bætt húðun einsleitni og viðloðun, og hefur orðið besta tækni til að losna við TiN skreytingarfilmu.

Multi Arc Arcion plating afhendingu TiN, kjarninn sem er kynntur í því ferli almennt multi arc jón plating efna ferli, sem á sama tíma uppgufun títan innflutning getur brugðist við títan köfnunarefni, með uppgufun títan blandað í plasma, við lágt hitastig var lífefnafræðileg viðbrögð, sedimyndir mynduð í hvarfefnasamböndunum.

Þó að multi-arc jón málmhúð hafi góðan dreifingu eiginleika og hægt er að nota fyrir alls konar skreytingar, það er ekki auðvelt að fá samræmda TiN húðun á stóru svæði ryðfríu stáli undirlag fyrir byggingarlistar skraut.

1. Leggja fram vandamál

Til að ná fullnægjandi einsleitni þarf þverskurðarmarkmiðið að vera stærra en breidd undirlagsins og markið er samfellt heil í breiddarstefnu undirlagsins. Og margar bogajónararbúnaður er hver hringur stöðugur á bilinu milli boga og boga hefur ákveðinn fjarlægð, ef óviðeigandi stillingarbúnaður hluti búnaðarins eða óviðeigandi valferðarbreytur búnaðarbúnaðarins er hægt að gera undirlagið í á móti boga hluti og stærri hluti af litamununni á milli boga og boga, boga er á móti djúpum hluta litarinnar (eða ljóssins), á milli boga og bogahlutans, lit grunn eða dýpt, bugða rönd dýpt, almennt þekktur sem "Zebra", gera vöruna af skreytingar hnignun, jafnvel orðið gölluð.

Vandamálið um einsleitni jón-diskur ryðfríu stáli plötum er fjallað í þessari grein

2. Áhrifþættir vélbúnaðar

2.1 fjarlægðin milli boga og hvarfefna

Fjarlægðin milli boga og undirlags hefur mikil áhrif á einsleitni jónhúðunarhúðunar. Bogalengdirnar eru of lítilir, fjöldi árekstra í partýinu áður en undirlagið er náð er of lítið, dreifingaráhrifin er veikuð og jafnleiki laganna minnkar. Bogalengdirnar eru of stórir, ekki aðeins sóun á plássi, aukið óþarfa útblásturs tíma, heldur einnig að agnirnar nái undirlaginu þegar orkan er of lítil, húðþéttni og hnignun. Fræðileg og tilraunagreindar niðurstöður sýna að hægt er að ná fram einsleitni filmuhraða þegar bogalengdin er yfir 200 mm.

2.2   segulsviðsstyrkur

Magnetic sviði styrk og lag jafnt tengsl náið, það er vel þekkt að segulsvið í boga uppspretta kerfið getur bætt árangur rafmagns boga uppspretta, gera plasma hraða hreyfingu, auka fjölda katódes losun rafeindir og jónir , auka þéttleika geislar og stefnuleika, draga úr innihald ördropa, en styrk segulsviðs í miðlungs hátt, of mikið getur valdið því að agnir styrkist, einsleitni húðunarfall; Of slæmt og auðvelt að valda slökkvistarfi, getur ekki náð hlutverki stöðugrar boga.

Tilraunir sýna að hámarksþvermáli hluti upptaksins á yfirborði segulsviðsstyrkleika í 20 ~ 35 gs er bestur áður en þú notar allt bogauppsprettaefni á yfirborði segulsviðsstyrksins sem þarf til að nota Gauss metra samræmda stillingu, sem uppspretta efnisnotkunar, uppspretta efnisyfirborðs vegna fjarlægð frá segullinni minni og auka magn segulsviðs, þannig að nauðsynlegt er að stilla það reglulega í samræmi við uppruna efnisnotkunar á yfirborði segulsviðsins styrkleiki, yfirborðsmorfógunargalla alvarleg uppspretta efnis sem á að endurvinna.

3. Áhrifaþættir hugbúnaðar

3.1 gasþrýstingur

Í vinnslu jónhúðunarinnar hefur gasþrýstingur mikil áhrif á einsleitni lagsins. Almennt talað, því hærra sem gasþrýstingur er, því betra er jónútrunin og því betra að einsleitni lagsins er. Hins vegar óhófleg þrýstingur mun einnig draga úr orku sem fer með agnir þegar þau ná til undirlagsins og hafa áhrif á viðloðun styrkleika lagsins. Tilraunir sýna að ákjósanlegur hlutþrýstingur köfnunarefnis er 3,0 * 10-1 ~ 1Pa fyrir útfellingu TiN á stóru svæði ryðfríu stáli hvarfefni með jónhúðun.

3,2 hvarfefni

Við stillingu neikvæðs undirlagsþáttar getur hlutfallslegur agnubrennsli aukið hraða atviksins, hvarfefni til að fá meiri orku, þar með aukið styrkleiki viðlofts milli lags og undirlags, en óhóflega hlutdrægni myndi gera agnirnar að dreifingu laða að undirlaginu, einsleitni lagsins, jónplataútfelling á TiN-kvikmyndastöðu milli 50 ~ 100 v er betra.

3,3 stærð boga straumsins

Boga straumurinn endurspeglar uppgufunarhraða kvikmyndarinnar. Tilraunir sýna að þegar boga straumurinn eykst þegar jafnleitni límsins lækkar, þá er þetta vegna þess að dreifingu agna í efninu dreifist og afleiðingin í frammi vegna aukinnar tíðni boga, þó að bæta framleiðslugetu, vona að meiri boga straumurinn, því betra, þetta krefst þess að við getum gert málamiðjan, auk þess sem viðfangsefni svæðisins eru fyrir mismunandi tækjum, mun val á breytum vera öðruvísi, vegna upptökutækisins með 65 mm boga þvermál, boga straumur ætti að vera á bilinu 50 ~ 100 a.

3,4 hvarfhitastig

Substrate hitastig á áhrifum jón málmhúð lagun einsleitni, aðallega er að fjarlægja lofttæmi inni raka og bæta húðina viðloðun, lofttæmi inni raka er beðið zebra lag af mjög mikilvægu ástæðu, sérstaklega fyrir lögin með vatnskældu tómarúm hólf búnað, sumar loft raki er stærri, þrýstingur í tómarúm frystingu inni vegg þéttingu vatn auðveldlega þetta er helsta orsök vatns, auk þess, eftir að hreinsa undirlag þurrkun ófullnægjandi mun einnig koma raka í tómarúm hólfinu, vatn hituð að gufu, á annars vegar, auðvelt að valda losun hvarfefnis í tómarúmshólf líkama, brennisteins undirlagsyfirborðs (hins vegar undir aðgerð rafboga, niðurbrot súrefnis, köfnunarefnis og súrefnis bregðast við títan hraðar, mun það óhjákvæmilega valda breytingum á lag samsetning, sem leiðir til ójafn húð lit, undirlag hitastig ætti að vera á milli 120 ℃ ~ 200 ℃ , vegna þess að hitastig er of hár getur valdið di erfiðleikar við hleðslu og affermingu á hvarfefni, draga úr framleiðsluhagkvæmni, hins vegar þegar tjón á kælivatninu er nálægt tómarúmshólfinu og halda innihita, getur tómarúm í mjög miklu mæli bætt þetta ástand.

4, skýringar

Til þess að fá samræmdan jónhúðunarhúð viðloðun góða N, stilla tækið um vélbúnaðarhlutann og aðrar ferli breytur búnaðarins er mjög mikilvægt. Fyrir mismunandi uppbyggingu búnaðarins þarf að taka tillit til ýmissa þátta í heild sinni, sameinað reglugerð af ýmsum breytum ferli, finndu samsvarandi við bestu aðstæður í sérstökum búnaði.

Að auki hefur vinnuþátturinn áður en hreinsun og hreinsun á hreinni hreinsiefni á húðuninni hefur meiri áhrif, því þessir tveir þættir geta yfirleitt valdið nægum athygli og fengið góða hreinsunaráhrif (með ultrasonic hreinsibúnaði) og köfnunarefni með mikla hreinleika er tiltölulega auðvelt, svo ekki í umfangi þessa blaðs.

Að lokum er dæmigerður ferli breytu TiN-húðun sem er afhent á 3000mm * 1000mm ryðfríu stáli diski með multi-arc jónplata búnaði með þvermál 1500mm og lengd 3500mm og 24 boga heimildir eru gefin til umfjöllunar af samstarfsfólki.

IKS PVD , Multi Arc jón Megnetron sputtering lag kerfi, hafðu samband: iks.pvd@foxmail.com