Varúðarráðstafanir við innkaup á dælubúnaði

1. Það ætti að vera ljóst að hvort titringurinn sem myndast af lofttæmidælunni hefur áhrif á ferlið og umhverfið. Ef aðferðin leyfir ekki, veldu ekki titringur eða taktu titringur.

2. Skiljið hluti gassins sem er dælað. Svo sem, hvort dæla gasið inniheldur þéttanlegar gufur eða rykagnir. Hvort gasið ætandi eða ekki. Þegar þú velur lofttæmiskúlu þarftu að þekkja gas samsetningu og síðan velja viðeigandi dælu í samræmi við dæluðu gasið. Ef gasið inniheldur gufur, agnir og ætandi lofttegundir skal setja upp viðbótarbúnað eins og þétta, rykara, osfrv. Á inntakslínunni dælunnar.

3. Tómarúm dæla ætti að vera fær um að tæma allt gasið sem myndast við tómarúm búnað ferli undir vinnuþrýstingi.

4. Rétt samsetning tómarúmsdælur. Vegna sértækra dæla lofttæmiskúlsins getur dælan stundum ekki uppfyllt dælingarkröfur. Þannig þarf að nota nokkrar gerðir af dælum til að mæta dælingarkröfum með því að styðja hver annan.

Til dæmis, títan undirlimun dæla hefur mikla dælur hraða fyrir vetni, en það getur ekki dæla helíum, og þriggja póls sputtering jón dæla (eða tvíhverfa ósamhverfar bakskaut sputtering jón dæla) hefur ákveðinn dælur hraði fyrir argon. Sameina þessara tveggja dælna mun tryggja tómarúm tæki betri tómarúm.

Að auki geta sum tómarúmdælur ekki unnið undir loftþrýstingi og þeir þurfa fyrir tómarúm; Sumir tómarúmdælur hafa lægri útþrýstingsþrýsting en andrúmsloftsþrýstingur og þurfa stuðningsdælu, þannig að allir þurfa að sameina.

5. Kröfur um dráttarvélarbúnað fyrir olíumengun. Ef búnaðurinn stranglega krefst enga olíu skal nota ýmsa olíufrjálsa dælur, svo sem vatnshringsdælur, sogsdælur fyrir sameinda sigti, sputterjóndælur, cryogenic dælur osfrv. Ef kröfurnar eru ekki strangar skal nota olíudælur með nokkrar aðgerðir til að koma í veg fyrir olíumengun eins og kalt gildrur, bafflar og olíufellir ...

6. Veljið vinnustað tómarúmsdælunnar rétt. Hver dælur er með vinnuþrýstingsbil. Því skal velja aksturspunkt dælunnar innan þess bils í stað þess að gera dæluna virka til lengri tíma í 25 ~ 30mmHg.

7. Hvernig olíu gufan sem losað er úr lofttæmidælunni hefur áhrif á umhverfið. Ef umhverfið leyfir ekki mengun, er hægt að velja olíufrítt tómarúmsdælu eða olíudæminu getur losað úti.

8. Vinnuspenning lofttæmiskúlsins ætti að uppfylla fullkomin tómarúm og vinnuþrýstingarkröfur lofttæmibúnaðarins.

9. Verð dælunnar, rekstrarkostnaður og viðhaldskostnaður.