Þættirnir sem hafa áhrif á gæði PECVD ferlis innihalda aðallega eftirfarandi þætti

Tveir þættir ættu að hafa í huga við val á púðabili í PECVD hola:

(1) Ljósspenna: Val á bili ætti að gera ljósspennuna eins lága og mögulegt er til að draga úr plasmagetu og draga úr skemmdum á undirlaginu.

(2) plötubil og loftþrýstingur í holrúmi: þegar plötubilið er stórt er skemmdin á undirlaginu lítil, en bilið ætti ekki að vera of stórt, annars mun það auka brúnáhrif rafsviðsins og hafa áhrif á einsleitni útfelling. Stærð hvarfhólfsins getur aukið framleiðni, en það hefur einnig áhrif á einsleitni þykktar.

IKS PVD fyrirtæki, skreytingarhúðunarvél, verkfærahúðunarvél, DLC húðunarvél, sjónhúðunarvél, PVD tómarúmhúðunarlína, turn-key verkefnið er í boði. Hafðu samband við okkur núna, tölvupóst: iks.pvd@foxmail.com