PECVD-loftþrýstingur

Þegar plasma myndast er gasþrýstingurinn of stór, hvarfgasið í einingunni eykst, þannig að hraðinn eykst, en á sama tíma er loftþrýstingurinn of hár, meðallaus leiðin minnkar, sem er ekki til þess fallið að umfjöllun um útfellingarfilmuna á þrepinu. Of lágur loftþrýstingur mun hafa áhrif á útfellingarkerfi filmunnar, sem leiðir til lækkunar á þéttleika filmunnar og auðvelt að mynda nálargalla. Þegar loftþrýstingur er of hár er fjölliðunarviðbrögð plasma augljóslega aukið, sem leiðir til lækkunar á reglusemi vaxtarnetsins og aukningar á göllum.

IKS PVD fyrirtæki, skreytingarhúðunarvél, verkfærahúðunarvél, DLC húðunarvél, sjónhúðunarvél, PVD tómarúmhúðunarlína, turn-key verkefnið er í boði. Hafðu samband við okkur núna, tölvupóst: iks.pvd@foxmail.com