Mælisvið heitt bakskautsjónunartómamælis

Þó að mælisvið heitt bakskautsjónunar lofttæmismælis geti náð 10-2~10-11mbar, þegar þrýstingurinn er of hár, mun sambandið milli agnaflæðis og þrýstings víkja frá línulegu og hafa tilhneigingu til mettunar. Til að lengja mælisviðið er Pirani tómarúmsmælir venjulega notaður við upphafspunkt dælunnar (ef of mikill þrýstingur er).

Að auki eru neðri mörk mælinga á venjulegum heitum bakskautsjónunartæmimælum um 10-6Pa stærðarröð: Þegar hliðarskautið er sprengt með rafeindum myndast mjúkir röntgengeislar og ljóseindageislun á sér stað þegar jónin safnari fær þennan geisla. Þar sem ljóseindin sem safnarinn gefur frá sér er jafngild jónunum sem hann safnar, myndast þrýstingsóháður bakgrunnsljósstraumur í jónasöfnunarrásinni, sem er táknaður með þrýstingsmælingu um 10-6Pa þegar hann er mældur. Til þess að koma í veg fyrir áhrif bakgrunnsljósstraums og stækka mælingarmörk heitt bakskautsjónunar tómarúmsmælis, BA jónunartæmismælis (mælingarmörkin geta náð 10-8Pa), kúpandi tómarúmsmælis (fræðilega getur náð {{6} }Pa), stilltur lofttæmismælir (10-10Pa), aðskilinn lofttæmismælir (10-11Pa) og svo framvegis.

IKS PVD fyrirtæki, skreytingarhúðunarvél, verkfærahúðunarvél, DLC húðunarvél, sjónhúðunarvél, PVD tómarúmhúðunarlína, turn-key verkefnið er í boði. Hafðu samband við okkur núna, tölvupóst: iks.pvd@foxmail.com