Matters þarf að fylgjast með þegar þú velur rétt tómarúmdæla

The tómarúm dælur þurfa mál þarf að fylgjast með:

1. Tómarúm dæla vinnuþrýstingur ætti að fullnægja tómarúm búnað tómarúm og þrýstingi kröfur.Svo eins og: lofttæmi lag kröfur 1 × 10-5mmHg tómarúm gráðu, tómarúm dæla tómarúm gráðu og að minnsta kosti 5 × 10-6mmHg.Oft valið að dæla tómarúm gráðu tómarúm búnað tómarúm gráðu hærri en einn helmingur til einn stærðargráðu.

2. Til að velja rétt tómarúm dælur vinnupunkt. Hver dæla hefur ákveðinn vinnuspennissvið, svo sem: dælubúnaður fyrir 10-3 ~ 10-7mmHg, á svo breitt þrýstingi, dælan hraða eins og þrýstingur breytist, stöðugt vinnuþrýstingur á bilinu 5 × 10-4 ~ 5 × 10-6mmHg. Þannig ætti að velja vinnustað dælunnar á þessu bili og getur ekki gert það í 10-8mmHg við langtíma vinnu. sem títan undirlimun dæla getur unnið undir 10-2mmHg, en vinnuþrýstingur hans ætti að vera minna en 1 × 10-5mmHg eins og heilbrigður.

3. Vacuum dæla í vinnuþrýstingi, ætti að geta losað tómarúm búnað ferli mynda af öllum gas bindi.

4. Rétt samsetning tómarúm dælunnar.Þar sem tómarúm dæla er valkvætt dæla gas, því stundum með því að nota dælu getur ekki uppfyllt kröfur dæla gas, þarf nokkrar dælu samsetningu, bæta hvert öðru til að uppfylla kröfur gas dæla . Eins og títan undirlimun dæla á vetni með miklum dælu hraði, en ekki draga helíum og þríóða sputtering jón dæla, (eða tvíhverfa tegund ósamhverfar bakskaut sputter jón dæla) á argon hefur ákveðna hraða, tveir saman, getur gert tómarúm tæki til að fá betri tómarúmi.Í samlagning, sumir tómarúm dæla getur unnið í þrýstingi, þörf fyrir tómarúm; Sum tómarúm dæla þrýstingur þrýstingur undir andrúmslofti þrýstingi, þarf að dæla áður, þeir þurfa að dæla notað í samsetningu.

5. Tómarúm búnaður fyrir olíu mengun kröfur. Ef búnaður í ströngum kröfum án olíu, ætti að velja alls konar dælur, svo sem: vatn hringur dælu, sameinda sigti aðsog dæla, sputter jón dælu, cryogenic dælu. Ef kröfur eru ekki strangar , getur valið að hafa eldsneyti dæluna auk nokkurra mengunarvarnarráðstafana, svo sem að bæta kalt gildru, baffle, olíuhell, getur einnig náð hreinu tómarúminu.

6. Skilja dæluðu gas samsetningu, gas sem inniheldur að undanskildum þéttanlegum gufu, það er engin ryk agnir, hefur ekki tæringu. Val á tómarúm dæla, þarf að vita gas samsetningu, val á samsvarandi dælu var að dæla gas. Ef gasið inniheldur Taka skal tillit til gufu, agna og ætandi gas í dælu inntaksrörinu við uppsetningu viðbótarbúnaðar, svo sem eimsvala, rykara.

7. Tómarúm dæla olíu gufa er losað til umhverfisins áhrif hvernig. Ef umhverfismengun er ekki leyfilegt, getur valið olíufrítt tómarúm dæla, eða olíu gufu er búinn að vera úti til úti.

8. Þegar tómarúmdælan virkar framleiddur með titringi á vinnslu og umhverfið hefur engin áhrif. Ef ferlið er ekki leyfilegt ætti ekki að velja titringur á dælunni eða að taka andkvörðun.

9. Verð dælunnar, rekstrarkostnaður og viðgerðarkostnaður.