Áhrif Magnetron Sputtering Process Parameters: Markstraumur

Áhrif færibreyta segulómsputteringsferlis: markstraumur

Með því að breyta markstraumnum er hægt að stjórna hlutfallslegu innihaldi hvers frumefnis í (Cr,Ti,Al) N fjórðungshúð og breyta orku sputtered agna sem sprengja skotmarkið og hafa þannig áhrif á örbyggingu og eiginleika lagsins. Rannsóknir hafa sýnt að hörku húðunar eykst með aukningu á Ti markstraumi [63-64]. Annars vegar, með aukningu á Ti markstraumi, eykst Ti innihald í húðinni og TiN harður fasi birtist og eykur þannig hörku lagsins. Á hinn bóginn, með aukningu á Ti markstraumi, leysast Ti atóm upp í CrN til að mynda Cr-Ti-N fasta lausn, sem eykur styrkingaráhrif föstu lausnarinnar og eykur því hörku lagsins [63]. Að auki, með aukningu á Ti markstraumi, aukast sprengjuáhrif Ar jóna á húðina og þéttleiki lagsins er bættur og eykur þannig hörku lagsins [64]. Þess vegna er aukning á hörku lagsins afleiðing af sameiginlegri aðgerð fasa- og byggingarþéttingar.

IKS PVD fyrirtæki, skreytingarhúðunarvél, verkfærahúðunarvél, DLC húðunarvél, sjónhúðunarvél, PVD tómarúmhúðunarlína, turn-key verkefnið er í boði. Hafðu samband við okkur núna, tölvupóst: iks.pvd@foxmail.com