Þróunarsaga þróunarsögu um sameindaþrýsting

1. Snemma Molecular Pump

Árið 1912 uppgötvaði þýska nafnið W.Gaede fyrstu sameinda dæla í heiminum, þvermál snúningsins er 50 mm og það eru 8 rifa í mismunandi stærðum á snúningum. Snúningshraði er 12.000r / mín. Og dælan hraði er um 1,5L / s. Vinna meginreglan um þetta snemma dæla er sú sama og nútíma sameinda dæla, en það er fljótt útrýma vegna mikillar bilunar svo það hefur ekki verið vinsælt.

Árið 1926, M. Siegbahn þróað sameinda dælur diskur í háskólanáminu í Svíþjóð. Uppbygging þess er svipuð og nútíma dráttartegundar sameindadælu. Dælulíkanið er með spíral Grooves og númerið er diskur. Árið 1939, LE BOLD framleitt tvær dælur með þvermál 540 mm. Mál grópsins eru 22 mm x 22 mm innan og 22 mm x 1 mm að utan. Snúningshraði er 3,700r / mín. Og dælahraði er 73L / s.

Snemma sameinda dælur eru allar sameinda dælur dráttarvéla. Með göllum stórum bindi, lágt dælurhraði, lítill eyður og margar galla, er það háð mörgum takmörkunum í notkun og því er það aðeins hægt að nota á sumum sérstökum sviðum og hefur ekki verið vinsælt.

2. Fæðing dregur í dælum

Árið 1957, W. Becker frá PFEIFFER GmbH í Þýskalandi, uppgötvaði nýja sameinda dæluna, sem heitir turbomolecular dæla. Lárétt uppbygging og dælubolurinn er búinn til með breytilegum og kyrrstæðum blaðalínum. Gasið fer í gegnum inntakshöfnina í miðju dælunnar og rennur í gegnum sográsina á báðum hliðum dælubúnaðarins. Þjappað loft er losað af útblásturshöfninni eftir að það hefur verið þjappað af blaðalaginu. Snúningurinn á þessari túrbólsúlkuloki samanstendur af 19 blaðalögum. Eins og sýnt er á mynd 2 er þvermál 170 mm, snúningshraði er 16.000 r / mín. Og dælahraði er 140L / s.

Árið 1966 þróaði SENCMA Corporation í Frakklandi 14 blaðsþrepum lóðréttum túrbóma-dælubúnaði, snúningsþvermálið er 286 mm, snúningshraði er 12.000 r / mín. Og dæluhraði er 650L / s, sem skapar lóðrétta túrbólódælu dælunnar.

Það eru margir framleiðendur sameinda dælur í Japan með sterka hæfni til að hanna og framleiða sameinda dælur. Árið 1971 þróaði stofnunin um efna- og efnafræðilegar rannsóknir í Japan 13 rotandi blaðra röð sameinda dælunnar og 12 kyrrstöðu vélarrúmmálmótor, þvermálið er 300 mm og snúningshraði er12.000 r / mín. Árið 1990 þróaði Japanska Osaka Vacuum Company fyrst stórfellda sameinda dæluna með dæluhraðanum 25.000 L / s.

Á þessari stundu er grunn uppbygging nútíma sameinda dælur lárétt og lóðrétt. Lárétt sameinda dæla hefur kosti einsleitrar kraftsins á rotornum, góðri stöðu álagsstyrkur, langur líftími, kyrrstöðu snúningsstaða við skiptivinnslu og auðvelt viðhald. En samsetningarferlið lóðrétta sameinda dælunnar er einfaldara en lárétta sameinda dælan, þannig að þróunarhraði lóðréttrar sameinda dælunnar á undanförnum árum er mjög hratt.

3. Nútíma Molecular Pump

Frá fæðingu sameinda dælunnar hefur verið sögu um næstum eitt hundrað ár. Með áframhaldandi framvindu ýmissa vísinda og tækni hefur sameindadæla tækni einnig gert margar nýjungar og byltingar. Nútíma sameinda dælan er greindari, sveigjanleg og skilvirk.

Á undanförnum árum, með hraðri þróun stjórnunarfræðinnar og tölvutækni og beitt til sameinda dælur, hafa sameindadælurnar verið stjórnað af tölvu og áttaði sig á fjarstýringunni á dælunni. Á sama tíma, byggt á upplýsingatækni, hafa öryggis- og eftirlitskerfi leitt til þróunar sameinda dælur í átt að upplýsingaöflun.

Dælunarhraði er kjarnamælir sameindadælunnar. Aukning á snúningshraða er ein af leiðandi aðferðum til að auka dælusnúningshraða. Með þróun dynamic jafnvægi tækni, sameinda dælan Rotor getur slétt ganga á Ultra-High Speed. Og með þróun efnisvísinda hefur efnið í sameinda dælulotanum einnig breyst, það er hægt að búa til úr hörku álfelgur, kolefnistrefjum, títanleirum og öðrum háum hörku efni, sem frekar bætir snúningshraða snúningsins.

Á undanförnum árum, með þróun hálfleiðaraiðnaðarins, er nauðsynlegt að nota sameindadælan til að stöðugt útblása mikið magn af gasi í háþrýstingi og tryggja hreint tómarúm í mörgum tilvikum. Frammistöðu hefðbundinna túrbóma dælur í þessu umhverfi hefur lækkað mikið og erfitt er að tryggja hönnunarniðurstöðurnar. Til að gera sameindadælan kleift að laga sig að vinnuumhverfi á háþrýstingi er hlutdeild sameinda dælunnar bætt við á upprunalegu túbó sameindadælu, og sameindadælan í túrbóni og dráttarmælisdælan er tengd í röð til að mynda samsettu mólmælisdælu ( eins og sýnt er á mynd 3) með kosti bæði tóbó sameinda dælunnar og aftursameindadælu.

Þar að auki hafa ýmsar nýjar tegundir sameindadælur komið fram á undanförnum árum, svo sem lághitamældu dælur sem geta dregið úr vatnsameindum á skilvirkan hátt, keramikdælur sem geta starfað undir sterkum segulsviði og sterkum tæringaraðstæðum og segulmagnaðir dreifa með ávinningi af óþarfa stuðningi, háhagkvæmni og hárlífi.