Common Trouble-skjóta af Magnetron Sputtering Film

Myndin er grár og dökk

1. Tómarúmið er lægra en 0,67 Pa. Tómarúminu skal hækka í 0,13-0,4Pa.

2. Hreinleiki argon er minna en 99,9%. Plaese nota argón með hreinleika 99,99%.

3. Uppblásanlegur kerfi lekur. Athugaðu verðbólgukerfið til að koma í veg fyrir leka.

4. Grunnurinn er ekki að fullu læknaður. Ráðhússtími grunnur skal framlengdur á viðeigandi hátt.

5. Magn gas sem losað er úr plötuhlutanum er of stórt. Kammer ætti að þurrka og innsigla

Dökk og sljór yfirborð

1. Sprengingartími er of langur. Tíminn skal styttur á viðeigandi hátt.

2. Sprenging og kvikmyndahraði er of hratt. Vinsamlegast minnkaðu strax sprautunarstrauminn eða spennuna.

Ójafn litur á húðun

1. Myndin er of þunn. Vinsamlegast auka sprauttur hraða eða sputtering tíma.

2. Irrational innréttingar hönnun. Hönnun búnaðar ætti að bæta.

3. Geymsla undirlagsins er of flókið. Vinsamlegast hækkun á hraða undirlags á viðeigandi hátt.

Kvikmynd hefur hrukkum eða sprungum

1. Uppgufunarhraði er of hratt. Það ætti að vera hægfara hæglega.

2. Myndin er of þykkur. Sprengingartími ætti að vera styttri.

3. Hitastig undirlagsins er of hátt. Vinsamlegast styttið upphitunartíma undirlags.

Yfirborð kvikmynda hefur vatnsmerki, fingraför og sót agnir

1. Efnið er ekki nægilega þurrkað eftir hreinsun. Formeðhöndlun skal styrkt.

2. Yfirborð undirlagsins er skvettað með vatni eða munnvatni. Rekstraraðilar ættu að vera grímur.

Léleg viðloðun

1. Léleg deyfing á málmhlutum. Formeðhöndlun skal styrkt.

2. Tómarúmið er ekki hreint. Tómarúminu skal hreinsa. Vinsamlegast athugaðu að meðan á því ferli að hlaða og hlaða niður skotmörkum er stranglega bönnuð að nota hendur eða annað óhreint mótmæli er að snerta magnetron uppspretta.

3. Fastur búnaðurinn er ekki hreinn. Fastur búnaðurinn skal hreinsa.

4. Óviðeigandi eftirlit með sprautunarferli. Vinsamlegast bættu sputtering ferli.