Kaþólikkarinn

Skurðpunktur bökunarboga eða Arc-PVD er líkamleg gufuútfellingartækni þar sem rafmagnsboga er notaður til að gufa efni úr bakskautsmarki . Þéttiefnið þéttist síðan á hvarfefni og myndar þunnt filmu . Tækið er hægt að nota til að afhenda málm- , keramik- og samsettum kvikmyndum.

Aðferð

Boginn uppgufun ferli hefst með því að slá á háu straumi , lágspennubog á yfirborði bakskautsins (þekktur sem skotmarkið) sem gefur tilefni til lítillar (venjulega nokkrar míkrómetrar breiður), mjög öflugt svæði sem kallast bakskaut blettur. Staðbundin hitastig á bakskautssvæðinu er ákaflega hátt (um 15000 ° C), sem leiðir til mikils hraða (10 km / s) þota af gufuskiptum bakskautsefnum og skilur gígur á bak við bakskautsyfirborðið. Bakskautsstaðurinn er aðeins virkur í stuttan tíma, þá slokknar hann sjálf og slökknar á nýju svæði nálægt fyrri gígnum. Þessi hegðun veldur sýnilegri hreyfingu boga.

Þar sem hringurinn er í grundvallaratriðum núverandi vökvaleiðari getur það haft áhrif á beitingu rafsegulsviðs sem í raun er notaður til að hratt færa boga yfir öllu yfirborði marksins þannig að heildaryfirborðið sé eytt með tímanum.

Boginn hefur afar mikla þéttleika sem leiðir til mikillar jónunar (30-100%), margþættar jónir , hlutlausar agnir, þyrpingar og makrílagnir (dropar). Ef hvarfefni er kynnt við uppgufunarferlinu getur dissociation , jónunar og örvun komið fram meðan á milliverkunum við jónastreymið stendur og efnasamband kvikmynd verður afhent.

Eitt galli af uppgufunarferlinu er að ef bakskautsspjaldið er áfram við uppgufunartímann þá getur það eytt miklu magni af makrólögnum eða dropum. Þessar dropar hafa skaðleg áhrif á húðhúðina þar sem þau eru lélega fest og geta lengst í gegnum húðina. Verra er þó að bakskautsmarkmiðið sé með lágt bræðslumark, svo sem ál, getur bakskautsspjaldið gufað upp í gegnum markið sem leiðir til þess að annaðhvort er miðlægt stuðningsplataefni gufað eða kælivatn inn í hólfið. Þess vegna eru segulsvið eins og áður hefur verið notað til að stjórna hreyfingu boga. Ef sívalur bakskaut eru notuð geta bakskautin einnig snúið við afhendingu. Með því að leyfa ekki að bakskautspunkturinn sé áfram í einum stað, of lengi má nota álmerki og fjöldi dropa er minnkað. Sum fyrirtæki nota einnig síað boga sem nota segulsviði til að aðskilja dropana frá húðflæðinu.

Búnaður hönnun

Sablev-gerð kaþólikkarbrunnur, sem er mest notaður á Vesturlöndum, samanstendur af stuttum sívalningslaga rafleiðandi miða við bakskaut með einum opnum enda. Þetta skotmark hefur rafmagns-fljótandi málmhring sem umkringdur vinnur sem hringrásarhringur (Strel'nitskij skjöldur). Anóðinn fyrir kerfið getur verið annaðhvort tómarúmshólfið eða stakur rafskaut. Boga blettir eru myndaðir með vélrænni kveikja (eða kveikjara) sláandi á opnum enda marksins sem gerir tímabundið skammhlaup milli bakskautsins og rafskautsins. Eftir að hringlaga blettirnar eru búnar geta þau stýrt með segulsviði eða hreyfist handahófi án fjarskipta.

Plasma geisla frá uppsprettu Cathodic Arc inniheldur nokkrar stærri klasa af atómum eða sameindum (svokölluðum makrólögnum), sem koma í veg fyrir að það sé gagnlegt fyrir sum forrit án nokkurs konar síunar. Það eru margar hönnunir fyrir makríl-agna síur og mest rannsakaður hönnun byggist á verkum II Aksenov o.fl. í 70's. Það samanstendur af fjórðungur torus duct beygði 90 gráður frá boga uppspretta og plasma er leiðsögn út um leið gegnum meginreglu plasma sjóntaugum.

Það eru einnig aðrar áhugaverðar hönnun, svo sem hönnun sem felur í sér beinan síus innbyggð með styttri keilulaga bakskaut eins og greint var frá af DA Karpov á 90. hæðinni. Þessi hönnun varð nokkuð vinsæll meðal bæði þunnt kvikmyndagerðarinnar og vísindamenn í Rússlandi og fyrrum Sovétríkjunum þar til nú. Vatnsboga uppspretta er hægt að gera í langa píptulaga formið (lengdarboga) eða langa rétthyrnd form en báðar hönnunarnar eru minna vinsælar.

Umsóknir

Kaþólikkarinn er virkur notaður til að mynda mjög harða kvikmynd til að vernda yfirborð klippingarverkanna og lengja líf sitt verulega. Mjög fjölbreytt úrval af þunnt hörðum kvikmyndum, Superhard húðun og nanókomposíum húðun er hægt að nýta með þessari tækni, þar á meðal TiN , TiAlN , CrN , ZrN , AlCrTiN og TiAlSiN .

Þetta er einnig notað nokkuð mikið sérstaklega fyrir kolefnisjónun til að búa til demantur-eins og kolefni kvikmyndir. Vegna þess að jónin sprengja frá yfirborðinu ballistískt , er það algengt að ekki aðeins ein atóm, en stærri klösum atómum sem verða að skjóta út. Þannig þarf þetta kerfi af síu til að fjarlægja atómakljúfur frá geisluninni áður en það er komið fyrir. DLC kvikmyndin frá síuð boga inniheldur mjög hátt hlutfall af sp ³ demantur sem er þekkt sem tetrahedral amorphous kolefni , eða ta-C .

Sótt katódískra boga getur verið notað sem málmjón / plasma uppspretta fyrir ígræðslu ígræðslu og ígræðslu og geymslu í plasma (PIII & D).