Greining á aflgjafargetu magnisprotters

  1. Markhópur og álagsstyrkur

(1) Aflþéttleiki hringlaga flatarmagnetursins er yfirleitt 1 ~ 25w / cm2

(2) Aflþéttleiki rétthyrndra planar segulmagnsmarkmiðs er 1 ~ 36w / cm2

(3) Aflþéttleiki dálkahnoðarmiðils og keilulaga, planar magnetron skotmark (S-byssu) er yfirleitt 40 ~ 50w / cm2.

2. Raunveruleg vopnaður máttur á magnetron markmiði

Í viðbót við sputtering tækni og kvikmynd gæði kröfur, raunverulegan aflmagn magnetron miða er einnig nátengd kælikerfi og hitaleiðni skilyrði marksins.

Magnetron skotmörk má skipta í tvær tegundir "beint vatn kælingu markmiði" og "óbeint vatn kælingu markmið" byggt á kælingu aðferð.

Miðað við öldunarmarkmiðið eftir langvarandi notkun, gerir hitatilfellingaraðstæður lélegar og með tilliti til mismunandi hita flytja stuðlana mismunandi miða efni, fullkominn hlaða máttur af the magnetron miða og raunverulegur hámark máttur beint vatn kælingu markmiði Hægt er að stilla léttari en efri mörk valdþéttniflokksins. Og raunverulegan hámarksálag á óbeinni vatnskælimarkmiðinu er hægt að stilla um helming efri mörkum styrkþéttni.

Þegar magnetron skotmark (aðallega Cu, Ag, Brass og Al brons) "sjálf sputtering", notar það venjulega segulmagnaðir sputtering miða sem er sérstaklega hönnuð til að "beina vatn-kaldur". Endanlegur vélarafl til notkunar verður að vera meiri en efri mörk markþéttniþéttniflokksins.