Hvað er líkamlegt gufuálag?

Líkamleg gufuútfelling (PVD) lýsir margs konar tómarúmsúrgangseiginleikum sem hægt er að nota til að framleiða þunnt kvikmyndir og húðun. PVD einkennist af ferli þar sem efnið fer frá þéttu fasa í gufufasa og síðan aftur í þunnt filmu þéttfasa. Algengustu PVD ferli eru sputtering og uppgufun. PVD er notað við framleiðslu á hlutum sem þurfa þunnt kvikmyndir fyrir vélrænni, sjón-, efna- eða rafeindabúnað. Dæmi eru hálfleiðara tæki eins og þunnur kvikmynd sólarplötur, aluminized PET filmur fyrir umbúðir matvæla og blöðrur og húðaður klippa verkfæri til málmvinnslu. Til viðbótar við PVD verkfæri til tilbúnings eru sérstök smærri verkfæri (aðallega í vísindalegum tilgangi) þróaðar.

Algengar iðnaðar húðun sem notuð eru af PVD eru títanítríð, sirkonítnítríð, krómnítríð, títanalfítíð.

Upphafsefnið er óhjákvæmilega einnig afhent á flestum öðrum flötum innan við tómarúmshólfið, þ.mt festingar sem notuð eru til að halda hlutunum.

Dæmi

● Katódísk bogaútgáfa : Þar sem rafmagnsbending með miklum krafti sem losað er á miðjunni (uppspretta) blasts burt sumum í mjög jónaðri gufu til að leggja á vinnustaðinn.

● Rafræn geisla líkamleg gufuútfelling: Þar sem efnið sem á að afhenda er hitað að miklu gufuþrýstingi með rafeindasprengju í "háu" tómarúm og flutt með dreifingu til að þétta með þéttingu á vinnsluhlutanum (kælirinn).

● Uppgufun gufuskipta: Þar sem efnið sem á að afhenda er hitað við háan gufuþrýsting með hitastigi við rafþrýsting í "háu" lofttæmi .

● Pulsed leysir frávik: Þar sem hár-máttur leysir ablates efni frá miða í gufu.

● Sputter afsökun : Þar sem útblástur glóðar í plasma (venjulega staðbundin í kringum " miða " með segull) sprengiefni efni sputtering einhvern veginn sem gufa til síðari frásogs.

● Pulsed electron deposition: Þar sem mjög ötull pulsed rafeind geisla ablates efni frá miða mynda plasma straumi undir jafnvægi aðstæður.

● Sublimation samloka aðferð: Notað til að búa til tilbúnum kristalla.

Hægt er að nota ýmsar þunnar kvikmyndaraðferðir til að mæla líkamlega eiginleika PVD húðunar, svo sem:

● Calo prófanir: húðþykkt próf

● Nanoindentation: hörku próf fyrir þunnt filmuhúðun

● Pinna á diskur prófanir: klæðast og núningstuðull próf

● Klóraprófari: Húðprófun

● Röntgenmyndavél: Rannsóknir á burðarvirkni og ólíkum frumefnablöndu fyrir vaxtarflötin

Samanburður við aðrar afhendingaraðferðir

Kostir

● PVD húðun er stundum erfiðara og meira tæringarþolnar en húðun sem beitt er með rafskautunarferlinu. Flestar húðunartæki hafa mikla hita og góða höggstyrk, frábæra núningi viðnám og eru svo varanlegar að hlífðar topphlífar eru nánast aldrei nauðsynlegar.

● Geta nýtt sér nánast hvaða tegund af ólífrænum og sumum lífrænum húðunarefni á jafn fjölbreyttum hópi undirlags og yfirborðs með því að nota fjölbreytt úrval af kláðum.

● Meira umhverfisvæn en hefðbundin húðun, svo sem rafhúðun og málverk.

● Hægt er að nota fleiri en eina tækni til að leggja inn tiltekna kvikmynd.

Ókostir

● Sértæk tækni getur lagað þvingun; Til dæmis, flutningur á sjónarhóli er dæmigerð flestum PVD húðunaraðferðum, en það eru aðferðir sem leyfa fulla umfjöllun um flókna rúmfræði.

● Sumir PVD-tækni starfa venjulega við mjög hátt hitastig og tómarúm, sem krefst sérstakrar athygli starfsfólks.

● Krefst kælikerfis til að losna við mikla hitaþol.