Vacuum umhverfi Sputter húðun

1. Þrýstihylkiþrýstingur

(1) Margs konar segulmagnaðir sprautunarhúðunarferli verður að framkvæma í lofttæmiskammeri; Tómarúm gráðu lokað málmhola er yfirleitt krafist til að ná 10-3Pa ~ 10-5Pa; Sum húðunarferli geta jafnvel haft meiri tómarúmskröfu.

(2) Vegna þess að verðblöndun súrefnisholfsins á innri veggi tómarúmsmálhólfsins og málmborðsyfirborðsins tekur það langan tíma að ná til nægilegrar tómarúmsgildis álagsins við fyrstu tíðni fyrir dæluðu tómarúmi. Eftir að hafa náð nauðsynlegum lofttegundarstigi, vegna þess að verðhjöðnunin er í grundvallaratriðum lokið, verður tómarúmstíminn að vera verulega minnkaður í annað skiptið sem er aftur lofttæmi.

2. Vinna gas

Samkvæmt mismunandi kvikmyndalögum og vinnsluþörfum eru innrennslisþrýstingur með þrýstingi losaður í tómarúmshólfið við þrýsting frá 0,1 til 1 Pa (RF magnetron sputtering: 0,1 Pa til 0,05 Pa) í sprautunarferli magnetron. Inert gasið er almennt notað gas, eins og argon Ar, Helium Kr, Helium Xe, Helium Ne og Köfnunarefni N2. Argon er venjulega notað sem vinnandi gas fyrir sprauta segulmagnaðir vegna þess að það er lágt verð og auðvelt aðgengi.

3. Vinnuþrýstingur gas

(1) Vinnuþrýstingurinn á DC og IF púlsa segulmagnaðir sputtering er yfirleitt á milli 0,3 ~ 0,8Pa (dæmigerð gildi er 5 * 10-1 Pa).

(2) Hægt er að framkvæma RF magnetron sputtering venjulega undir vinnuþrýstingi 10-1 ~ 10-2 Pa.

(3) Sprautunarferlinu um sumarskammt (td lágmarkskröfur um hreinleika og yfirborðsleysi kvikmyndalagsins) geta einnig verið skilvirkt afhent undir vinnuþrýstingi 1 Pa ~ 10 Pa eða jafnvel hærra.

(4) Ýmsir þættir eins og stærð tómarúmshólfsins, gasstreymishraði, tómarúmdælurhraði og opnunar- og lokarhorn hliðarlokans geta haft áhrif á vinnuþrýstinginn. Endanleg uppgötvun gildi vinnugasþrýstingsins ætti í raun að líta á sem afleiðing af öflugum jafnvægi lofttegundarhraða lofttegundar lofttegundar og opnun og lokun horn hliðarlokans.