Vacuum húðun tækni og búnað tvö hundruð ára þróun sögu

Vacuum húðun tækni og búnað tvö hundruð ára þróun sögu

IKS PVD, við höfum háþróaða PVD tómarúm húð tækni, iks.pvd@foxmail.com

A einhver fjöldi af fólk er að fjárfesta í 3D gler og OLED verkefni, og að gera þessar vörur vel, þú verður að skilja mikilvægasta hluti, húðun.

Eftirfarandi er þróunarsaga alþjóðlegu lagatækni. Kannski geturðu séð það sem leyndarmál uppskrift fjölskyldunnar. Eins fljótt og fyrir mörgum árum gerði einhver það og það hefur verið iðnaðarmaður í nokkrar umferðir. Eftir að hafa lesið þessa grein geturðu líka sagt, ekki blekkja mig, ég las einnig sögu lagsins ...

Chemical húðun var fyrst notuð til að undirbúa hlífðar filmu á yfirborði ljósfræðilegra efna. Árið 1817, Fraunhofe í Þýskalandi með óblandaðri brennisteinssýru eða salta af saltpéturssýru úr gleri, fengu stundum fyrstu andspeglunarmyndina, fyrir 1835, einhver með efnafræðilega blautar aðskilnaðargjald af silfri spegilmyndum sem þeir eru fyrstu undirbúning sjón kvikmynda í heimurinn. Síðar voru ýmsar sjónrænir kvikmyndir settar í efnafræðilegar lausnir og gufur. Á 1950, að undanskildum sumum forritum með andspeglunarmyndum á stórum og hröðum gluggagleri, var efnafræðilegu lausnin smám saman skipt út fyrir lofttæmi.

Tómarúm uppgufun og sputtering eru tveir mikilvægustu ferlurnar til að búa til kvikmyndir í iðnaði. Þau voru notuð í stórum stíl, í raun, eftir tilkomu olíudælu dælunnar, vélrænu dælukerfið árið 1930.

Árið 1935 var einn andstæðingur-myndandi kvikmynd þróuð til að draga úr uppgufun gufu. En það var fyrst notað eftir 1945 að kápu linsur.

Árið 1938 þróuðu Bandaríkin og Evrópu tvöfaldur andspænismynd, en það var ekki fyrr en 1949 að gæði vöru var framleidd.

Árið 1965 var þroskað þriggja laga andlitsgreiningarkerfi. Að því er varðar hugsandi kvikmynd, myndaði almennt rafmagn fyrsta aluminized lampann árið 1937. Þýskaland á sama ári gerði fyrsta læknisfræðilega slitþolna hörku ródínfilmuna. Hvað varðar síur, var málmdívalmyndin Fabry - --Perot truflunarsía afhent í Þýskalandi árið 1939.

Á sviði sputtering lag, um 1858, hafa breskir og þýskar vísindamenn fundið sputtering fyrirbæri á rannsóknarstofu. Tæknin hefur þróast hægt.

Árið 1955, eftir að Wehner hafði lagt mikla tíðni, var sprautunarhúð þróuð hratt og varð mikilvægt sjónþunnt kvikmyndaferli. Núverandi afhendingarferli eru tvíhverfa sputtering, þríóls sputtering, hvarfspýting, magnetron sputtering og tvöfaldur jón sputtering.

Frá því á sjöunda áratugnum hafa sjónþunnur kvikmyndir þróað hratt í húðunartækni og tölvuaðstoð. Í þætti laganna voru nýjar jón-undirstaða tækni rannsökuð og beitt.

Árið 1953 sótti Auwarter Þýskalands um einkaleyfi á sjónþynnu kvikmynd fyrir hvarfgjarnan uppgufun og lagði til að auka efnavirkni með jónuðu gasi.

Árið 1964 var Mattox jónhúðunarkerfi kynnt á grundvelli fyrri rannsóknarvinnu. Á þeim tíma vann jónakerfið undir 10Pa þrýstingi og 2KV útskriftar spennu. Það var notað til að klæðast slitþolandi og skreytingar á málmi, ekki hentugur fyrir sjónþynna filmuhúðun. Síðar voru sjónþynnilegar kvikmyndir afhentar á einangrandi efni eins og gler með hátíðni jónplötu. Frá og með áttunda áratugnum hafa nýjar nýjar aðferðir verið rannsökuð og beitt, þar með talið jónastuðlað afhendingu, hvarfgjarn jónhúðun og útblástur jafngildis í plasma. Vegna notkunar á öflugum jónum, veita þau nægjanlega örvunarorku og auka viðbrögðshraða yfirborðsins. Rannsóknar- og þróunarstefnu framleiðsla tækni í sjónhimnu kvikmyndum er að bæta hreyfanleika ásogaðra atóma og forðast myndun smákúlu í smærri byggingu til að bæta eiginleika sjónþunns kvikmyndar í mismiklum mæli.

Í raun er þróun tómarúmmálsferilsins miklu flóknara. Skulum líta á þessa 200 ára sögu tækni:

Á 19. öld

Vacuum lag hefur sögu um 200 ár. Á 19. öld var það í stigi rannsóknar og forrannsóknar. The travails af umsækjanda voru á fullum skjá á þessum tíma.

Árið 1805 var sambandið milli sambands Angle og yfirborðs orku (Young) rannsakað.

Fraunhofer myndast á linsu.

Árið 1839 hófst rannsóknir á boga uppgufun (Hare).

Árið 1852 byrjaði hann að læra tómarúmsprauta lag (Grove; Pulker).

Árið 1857 var vírið gufað í köfnunarefni til að mynda þunnt kvikmynd (Faraday; Conn).

Árið 1874 var tilkynnt að það yrði gert í plasma fjölliða (Dewilde; Thenard).

Árið 1877 var tómarúmsprautt frásog þunnra kvikmynda tekin vel (Wright).

1880, pýrolysi með vetniskolefnisfasa (Sawyer; Mann).

1887, gufuþrýstingur í þunnum kvikum (deigli) (Nahrwold; Pohl; Pringsheim).

Árið 1896 var efnaferlið til að mynda antireflective kvikmynd þróað.

Árið 1897 var vetnisklækkunaraðferð wolframtetraklóríðs (CVD) með góðum árangri rannsökuð. Optical interferometry of film thickness (Wiener).

Fyrstu 50 árin á 20. öld

1904 Edison var einkaleyfi fyrir sputtering silfur á hylkjum.

Árið 1907 var tómarúmi viðbrögð uppgufunartækni (Soddy) rannsakað.

Árið 1913 voru rannsóknir á sótthitapróteinum (Langmuir, Knudsen, Knacke o.fl.).

Þunnt kvikmynd viðnám sem er afhent með sputtering á glerstöngum, 1917.

1920 Guntherschulzer, sputtering kenning.

Árið 1928, tómarúm vaporization af wolfram filament (Ritsehl, Cartwright, osfrv).

Árið 1930 vökvaði hið sanna loftfasa til að mynda öfgafullar agnir (pfunds).

Árið 1934, vinda málun á gulli á hálfgagnsækt sellófan (Kurz, Whiley); Plasmaþrif af gleri til að fjarlægja filmu (Bauer, Strong).

Árið 1935 var tómarúmi uppgufunarkvefja Cd: Mg og Zn fyrir þéttiefni úr pappírsvatni með góðum árangri rannsakað (Bausch, Mansbridge). Sterk gler fyrir 100 tommu sjónauka paloma; Optical linsu húðuð með einum lagi af spegilmynd (Strong, Smakula); Rannsókn á vaxtarformgerð málmmynda (Andrade, Matindale).

Árið 1937 var lokað geislahöfuð með því að nota leiðarljós (Wright). Vacuum vinda uppgufun lag (Whiley) var tekist að þróa. Penning magnetron auka sputtering lag var með góðum árangri þróað.

Árið 1938 var Berghaus einkaleyfi fyrir uppgufun eftir jónasprengju á yfirborðinu. 1939 tvöfaldur antireflection lag var beitt með góðum árangri (Cartwright, Turner).

Árið 1941 var tómarúm aluminized möskva gert í filmu fyrir ratsjá.

Árið 1942 voru þremur andsprautunarhúðaðir málmblöndur (Geffcken). Metal jón uppspretta fyrir samsæta myndun hefur verið þróað með góðum árangri.

Árið 1944 var rafrænan hreinsun gler þróuð (Rice, Dimmick).

Árið 1945, mörg konur Banning mörgum sjónrænum síum (Banning, Hoffman).

Árið 1946 var þykkt þunnt kvikmynda mæld með röntgengeislun frádráttaraðferð (Friedman, Birks). Goodfellow fyrirtæki í Bretlandi.

Árið 1947 var spegill 200 tommu sjónaukans úr áli.

Árið 1948 var landfræðilegt sjónvarpsrannsóknarstofa (OCLI) komið á fót. Tómarúmi hröð uppgufun aflagðra agna (Harris, Siegel); Filmþykktin er stjórnað af ljóssveitinni (Dufour).

Árið 1949, rannsóknir á vaxtarformgerð ómetallískra kvikmynda (Schulz).

Árið 1950 var spattering kenning stofnuð (Wehner). Iðnaður hálfleiðara byrjaði að taka burt; A fjölbreytni af microelectronics iðnaður fór að taka burt; Þróun köldu ljósspegils (Turner, Hoffman, Schroder); Plast skreytingar kvikmynd byrjaði að birtast (Holland et al.

Síðustu 50 árin á 20. öld

Þetta var 50 árin sem kvikmyndatæknin tók af stað. Þróun tómarúms kaup og tómarúmsmælingar er afgerandi þáttur í hraðri iðnvæðingu þunnt kvikmyndatækni.

Árið 1952 var sprautunarhreinsunaraðferðin fyrir sjálfvirkri yfirborðshreinsun með góðum árangri þróað. Nýr viðbrögð uppgufunaraðferðir (Auwarter, Brinsmaid) voru rannsökuð. Tæringarþolnir plasma fjölliða kvikmyndin var rannsökuð.

1953 stofnað var stofnun bandarísks tóbaks; Andspennandi kvikmyndarefni sem gerðar eru með vinda og húðun (3M).

Árið 1954 byrjaði fyrirtækið að þróa nýtt tómarúm uppgufunarefni og húðunarvél (Leybold fyrirtæki).

Árið 1955 byrjaði rafeinda geisla uppgufun tækni fyrir þunnt kvikmynd afhendingu (Ruhle). Rf sputtering aðferð til dielectric (Wehner) var lagt til.

1956 var fyrsti ameríski bíllinn með málmhúð kynnt (Ford mótorhjól).

Árið 1957 var lofthjúpurinn kadmíumhúðunaraðferð samþykkt af flugrekstri. Reaction uppgufun aðferð af sjón kvikmynd var rannsökuð (Brismaid, Auwarter et al.). American tómarúm húðun samfélagið var stofnað.

Árið 1958 var kvikmyndagerðargræntækni þróað með góðum árangri (Gunther). NASA var stofnað.

1959 segulbandstæki búnað þróað (Temescal hlutafélag).

Árið 1960 birtist fjölliða yfirborðsplasma virka afhendingaraðferðin (Sharp, Schorhorm). Þróun jónanna fyrir rafmagnsframleiðslu tæki (Kauffman); Mælitækið með kvars kristalfilmþykkt hefur verið þróað með góðum árangri.

Gler með lágt losun var þróað árið 1961 (Leybold); Byrjaði að læra sputtering ávöxtun þætti (Laegried, Yamamura osfrv.).

Árið 1962 var sprautunaraðferðin fyrir efnafræðileg greining rannsökuð. Bogamyndun kolefnis (Massey) og málm (Lucas); Rf sputtering aðferð til að hreinsa miðli (Stuart, Anderson o.fl.); Vörur Leybold komu inn á bandaríska markaðinn; Svo skulum hugsa um gufuþrýsting frumefnisins.

Árið 1963 var búið að þróa samfellda húðunarbúnað með hluta af andrúmslofti (Charschan, Savach, osfrv.). Jónhúðunarferlið hefur verið þróað með góðum árangri (Mattox).

Árið 1964 var PECVD (plasma efnafræðileg gufuafhleðslu) aðferð til að taka upp ljósmyndirnar með góðum árangri þróað (Bradley et al.).

Árið 1965 var framlagsmeðferð með hlutdrægni með góðum árangri þróað (Maissel et al.). Lýsingaraðferðin við leysiefni gufu fyrir þunnt kvikmyndir var þróað með góðum árangri (Smith, Turner). The rf sputtering afhendingu aðferð einangrunar efni var með góðum árangri þróað (Davidse, Anderson o.fl.). Pulsed leysir afhendingu aðferð var með góðum árangri þróað (Smith et al.); The multilayer tómarúm málm möskva belti kvikmynd fyrir asetat kvikmynd var með góðum árangri þróað (Galileo).

Árið 1966 voru jónalínhönnuð hvarfefni (Mattox o.fl.); Jónlagið af mjúku málmi sem notað var sem smurefni var þróað með góðum árangri (Spalvins). Góð viðloðun sólarljóshugsunarmyndunar (3M fyrirtæki).

Árið 1967 tókst að klára krómhúðun á skútu (Lane). Tómarúmi jón húðun aðferð hefur verið einkaleyfi (Mattox). Tripole sputtering aðferð var með góðum árangri þróað (Baun, Wan, osfrv). Mattox afhendingu við háu lofttæmi.

Árið 1968, í snúningsgeymi, lítill hluti af jónhúðinni (Mattox, Klein), ferli sem varð þekktur í geimferðaiðnaði sem jónandi gufuútfellingu.

Árið 1969 var magnetron sputtering framkvæmt innan hálfhyrndra hluta, og margar sputtering heimildir voru einkaleyfi (Mullay). Nýja Sputtering kvikmyndagerðarmaður Leybold kom út. Uppgufunarfilmafræðileg kort birtist.

Á áttunda áratugnum voru ýmsar tómarúmhúðatækni notaðir í iðnaðarskala. Þróun þunnt kvikmyndatækni hefur gengið í gullöld.

Árið 1970 var holur bakskaut rafræn uppspretta með uppgufun lofttegunda með góðum árangri þróað (ULVAC); Háskerpufjöldi, sem var með mikla flæðingu, var gefin út (OCLI). Hálið bakskaut jón húðun búnað birtist í Japan (ULVAC fyrirtæki).

Stofnanir sem húðuð gler með jónabombardement sprungu upp í mörgum löndum árið 1971. Hátt kolefnisfilm var þróað með góðum árangri (Aisenberg o.fl.); Einkaleyfiskrafa sprautunaraðferð í keilulögnum (Clarke); Anode boga uppgufun uppspretta á hvaða stöðu sem er (Snaper, Sablev); Við uppgufun er plasma virka gasið virkjað (Heitman, Auwarter, o.fl.). Þróun súrálpappírs umbúðir (Galileo); Jónhúðunartæki sem notar rafeinda geisla uppgufun uppspretta birtist (Chamber fyrirtæki).

Árið 1972 var Tagaki aðferðin þróuð. Tómarúmssprautunarbúnaður með jón byssu (Weissmantel); Rannsókn á samstilltu sprengjuáhrifum himnuskiptingar (Mattox et al.); Þunnur vír húðun búnaður hefur verið mikið notaður.

Árið 1973 samþykkti rafskautariðnaðinn nýja hágæða og ódýr jónunarbúnað (Bell Company); Plasma aukin efnafræðileg gufuútfelling (PECVD) í flatplötuviðbrögðum (Reinberg).

Árið 1974 birtist óhreina fjólubláa ósonhreinsitækni (Sowell, Cuthrell, osfrv.). Rannsókn á þjappaþrýstingi í sprengjuárum í jónum (Sowell, Cuthrell et al.); Tæknin á planar segulmagnaðir stjórnunarhúð var einkaleyfi (Chapin).

Árið 1975 var endurvirk jónhúðartækni með góðum árangri þróað (Murayama et al.). · Einkaleyfishafi sívalur bakskautsmagnrónssprotningartækni (Penfold, osfrv.) Ⅲ - Ⅴ klón hálfleiðurum sameindarhvarfepítala (MBE) með góðum árangri þróað (Cho, Arthur); Varamaður jónhúðartækni var þróað með góðum árangri (Schiller); Chevrolet birtist á ramma bíl.

Árið 1976 var jónpistillinn notaður til að afhenda kvikmyndir í samstilltum sprengju (Weissmantel).

Árið 1977 var miðlungs tíðni planar magnetron viðbrögð sputtering afhendingu aðferð með góðum árangri þróað (Cormia o.fl.). Tómarúmslindarplata á ITO filmu var þróað með góðum árangri (Sierracin, Sheldahl o.fl.). · Þróað sprautunarbúnað á netinu fyrir glergler (AircoTemescal); Sputtering þunnt kvikmyndafræði (Thornton et al.); Sputter - hitað spegilhúð (Chahroudi) á þunnt vír. Árið 1978 var sjónrænt kvikmyndagerð með góðum árangri útsett á þunnum vefjum (Coburn Company); Þróun stjórntækilegra boga uppgufun uppspretta (Dorodnov); Þróun dökkt bark uppgufunar í plasma (Aksenov et al.); Glugginn var með góðum árangri þróað af ITO kvikmynda sputtering (síðar vísað til sem CP)

Árið 1979 var auglýsing á lítilli losun glerhúðunarbúnaðar tekin í notkun. Sputtering afhendingu net kvikmynd til að ná iðnvæðingu (CormiaChahroudi fyrirtæki); Einkaleyfilegur planar magnetron bakskaut sputtering (BOCCT); Nýtt hávaxtahúðunartæki (Leybold) á netinu.

Árið 1980, jón byssu var notað til að bæta streitu gufu króm kvikmynd (Hoffman, Gaerttner). Fyrsta stóra sputtering coiling og húðun tæki kom út (Leybold); Multi-boga gufuútfelling hefur verið iðnvædd í Bandaríkjunum. Ag - undirstaða hitauppstreymi stjórna lag til að ná iðnvæðingu (Leubold fyrirtæki).

Árið 1981 var líkamlegt gufuútfelling notað til að klæðast hörðum kvikmyndum á verkfærum. Skreytt og multifunctional himnur fyrir vélbúnað (Leybold); Sputtering jón málun skreytingar kvikmynd (Leybold fyrirtæki); Sputtering spólu plating tæki (Leybold); Online ITO - Ag - ITO húðunarbúnaður með mikilli útfellingu (Leybold); Silfurhúðuð hugsandi kvikmynd var þróuð (3M).

Árið 1982 var gasfasa uppgufun ultrafine agna iðnaðar (ULVAC fyrirtæki). Einkaleyfishluta snúningshringlaga sívalnings bakskaut (Mckelvey); Títan hringtorg plan sputtering miða tókst þróað (TicoTitanium).

Árið 1983, rannsóknir á eflingu efnavirkni með því að sprengja (Lincoln, Geis et al.); Hringlaga sívalur magnetron sputtering miða var með góðum árangri þróað (Robinson). High-density sjón diskur (Phillips, Sony); Industrialization net lag búnað fyrir segulmagnaðir borði (Leybold); Metallization fínn möskva myndast þegar tómarúm gráður uppgufunar svæði breytist stöðugt (Galileo fyrirtæki).

1984 grind málmgrýti af a-si photovoltaic kvikmyndir (energycon tæki).

Árið 1985 var tómarúm uppgufun fjölliða fjölliða kvikmynda einkaleyfi (GE). Árið 1986, rannsóknir á ójafnvægi magnetron sputtering (Windows, osfrv).

Laser afhýða afhendingu HTS þunnt kvikmynda (Dijkkamp et al.); The rasterless Hall jón uppspretta var með góðum árangri þróað (Kaufman, Robinson o.fl.). Litur bleksprautuprentara (OCLI).

Árið 1988 var tvöfaldur-bakskaut miðlungs tíðni sputtering jón uppspretta með góðum árangri þróað (Este et al.). Industrialization dc sívalur snúningur magnetron sputtering tækni (BOCCT); Þrýstingur púls aðferð til að stjórna streitu sputtering kvikmyndir hefur verið þróað með góðum árangri (Cuthrell, Mattox).

Árið 1989 kom kotolz hagnýtur kvikmynd út, nú almennt þekktur sem CP kvikmynd.

Árið 1990, tvískiptur-ac ef magnetron sputtering tækni varð þroskaður (Leybold); Þróun fínn möskvahúðbúnaðar fyrir fjárhagsleg skáp öryggis (ULVAC fyrirtæki); Skjálftaborð fyrir fínn skjárlag var þróað með góðum árangri (Leybold); Milliverkunarhvarfavökvunaraðferðin með súráli var þróað með góðum árangri (Leybold fyrirtæki).

Árið 1991 var umsókn með akrýl fjölliða tekin með góðum árangri. ZrN skraut kvikmynd iðnvæðingu (Leybold).

Árið 1993 var scraper coating tækni einkaleyfi (Gillette fyrirtæki);

Árið 1995 var kísiloxíð hindrun kvikmynd einkaleyfis (BOCCT fyrirtæki); Árangursrík tækni á netinu fyrir þyrpingarsprautun fyrir bifreiðarljósker (Leybold).

Árið 1997 var akrýl fjölliðahúðartækin endurnefnd Delta V tækni; TaN og Cu voru diskur á sílikon með líkamlegri gufuútfellingu (IBM). Þróun fjarskiptabúnaðar fyrir skreytingarfilmu (Leybold).

Árið 1998 var scraper húðun búnað með síu boga uppspretta sett í framleiðslu (Gillette fyrirtæki).

Árið 1999, Delta V tækni fyrir stórt svæði gler lengdarhúðun.