Meginreglan um Ionization tómarúm mál

Í lágþrýstingsgasi er fjöldi jákvæðra jóna sem myndast við jónun gasasameinda í réttu hlutfalli við þrýsting gassins. Jónunarþrýstimælirinn er tómarúmmælitæki byggt á þeirri grundvallarreglu að þrýstingurinn á gasinu, sem á að mæla, er í réttu hlutfalli við jónað flæði sem myndast við jónunar lofttegunda við ákveðnar aðstæður.

Samkvæmt mismunandi aðferðum jónframleiðslu er tómarúmsmælir til að jónandi gasið með heitu bakskauti frá sér rafeindir kölluð tómarúmi jónunar tómarúmsmælir og heitt katódónjónunarmælirinn samanstendur af heitu bakskautsmælibúnaði og mælitæki. Mælitækið samanstendur af gauge rafmagnstengi og senda straumljós, jónamælingarmæli. The hot cathode jónization mál tengist mældu tómarúm kerfi, sem er triode með bakskaut, hlið og safnari. Rafmagnsmöguleiki safnara er miðað við neikvæða möguleika á bakskautinu, en ristið er miðað við bakskaut jákvæða möguleika. Þegar jónunarmælirinn er rafdreginn og hitaður, gefur katodeið rafeindir, sem eru í sambandi við gas sameindin í því skyni að ná ristinni, sem leiðir til jónunar jákvæðra jóna og rafeinda. Þegar losunarstuðullinn er fastur er fjöldi jákvæðra jóna í réttu hlutfalli við þrýsting gassins sem er í prófun. Eftir að jákvæð jónir hafa verið safnað er jónin jöfnuð með mælikerfinu og hægt er að lesa tómarúmshæðina sem mælt er með með viðurkenningarmælinum.

Hot járnbraut jónunar mál er svipað og þríóða mál, eins og sýnt er á mynd a, sem samanstendur af strokka lagaður diskur (jón safnari) C, rist G og er staðsett í miðju net bakskaut filament net samanstendur af F, Hólklaga lagaður diskur er utan forskautsgrindarinnar.

Mynd b er ytri stýringarmiðill, ristarmöguleikinn er á milli +100 ~ + 300 V, og plata möguleiki er á milli 0 ~ -50V. Til að geyma rafeindir af bakskautþráðum F eftir rafmagnshitun. Þar sem rafskautargluggan G er jákvæður spennur, eru útgefin rafeindir flýttir, rafeindirnir brjótast saman við innra gasameindirnar, þannig að jónasamsetningin jafngildir, því meiri gasþrýstingur, því meiri gasþéttleiki, því fleiri tækifæri til árekstra, Afleiðingin af jákvæðum jónum. Jákvæð jónir í sívalurplötu neikvæð spennu undir virkni jákvæðra jóna til að laða að myndun plötunnar, því meiri sem sameindaþéttleiki (þ.e. meiri þrýstingur), því meiri sem plötunni er, þvert á móti er lítill. Diskurinn sem er á mælisvæðinu er í réttu hlutfalli við mældan þrýsting.

Þegar tómarúmskerfið lýsir andrúmsloftinu mun það gleypa mikið af lofttegundum á yfirborði jónunarmælis glerbóla og rafskautsyfirborðsins. Í tómarúminu verður gasið losað aftur, sem mun hafa áhrif á nákvæmni mælingarinnar. Til þess að útrýma þessum áhrifum verður að fjarlægja gauge rörið áður en það er mælt. Jónunarmælirinn notar bakunaraðferðina til að afgreiða, þ.e. filamentið og ristið er hægt að orka og upphitun í sömu röð, en plötufjölskyldan með því að nota hátíðni upphitunar upphitun eða rafeinda sprengju, var gasið losað fyrir mælinguna. Almennt jónunarþrýstimælirinn hefur afgufunaraðgerð þegar tómarúmið er meira en 1 × 10 ^-2 Pa, til að grafa niður jónunarmælinum í samræmi við forskriftina.