Plasmaþrif

Plasmaþrif þýðir að nota plasma til að ná þeim niðurstöðum sem hefðbundnar hreinsunaraðferðir geta ekki náð. Plasma er ástand málsins, einnig kallað fjórða ástand efnis sem ekki tilheyrir sameiginlegu þremur ástandinu af föstu, fljótandi og gasi. Notkun nóg orku til að jafna gasið verður plasma ástand.

"Virkir" þættirnir í plasma eru jónir, rafeindir, atóm, hvarfgjafar, núklíð í spennt ástand (metastasis ástand), ljóseindir og svo framvegis. Plasmaþrif vísar til þess að meðhöndla yfirborð sýnisins með því að nýta eiginleika þessara virku efnisþátta til að ná fram áhrifum hreinsunar og húðunar. Yfirborð vinnustofunnar er meðhöndlað með efnafræðilegum eða líkamlegum aðgerðum til að ná mengunarefnum á sameindastiginu og bæta þannig yfirborðsvirkni vinnusvæðisins. Smitin sem eru fjarlægð geta innihaldið lífrænt efni, epoxý plastefni, photoresist, oxíð, örverur mengunarefna osfrv., Þannig að þvottur í plasma er eins konar nákvæmniþrif. Mismunandi hreinsunarferli ætti að nota við mismunandi mengunarefni. Almennt séð er plasmaþrif flokkað í efnaþrif, líkamlega hreinsun og efnafræðileg hreinsun efna á grundvelli valinnar vinnslugas.