Afköst og ávinningur af múludúlu í hverfli

Turbo sameindadæla er notkun háhraða snúnings hreyfilshlaupsins til að standast skriðþunga í gas sameindin, gasið myndar stefnuflæði lofttæmipúlsins . Turbo sameinda dæla aðallega hluti af dælu líkamanum, rotor með blað (þ.e. hreyfingu hjól), truflanir hjól og ökuferð kerfi.

Kostur

Eins og tóbó sameinda dæla í sumum þáttum, það er betra en cryogenic dæla, jón dæla og dreifingu dæla árangur er betri. Þess vegna, í almennu tilfelli, meiri notkun túrbóndælna.

(1) Hreint, olíufrjálst gufuáfall

Mótorpúði frá Turbo getur starfað án nokkurs velferðar og starfar samkvæmt rekstrarreglum sem geta veitt hreint lofttæmi umhverfi fyrir dæluðu ílátið og inniheldur engar kolvetni.

(2) Auðvelt að nota

Í mörgum forritum getur ekki þurft að nota tóbaksdælur með háum lofttegundarlokum eða gróft tómarúmi lokar. Bara að ýta á hnappinn, dælan getur byrjað að vinna, frá andrúmsloftsþrýstingnum er hægt að minnka í fullkominn þrýsting. Kerfið getur verið gróft dælað með múludælum turbo og hægt að flýta henni upp að aksturshraða. Þetta útilokar þörfina fyrir lokar, pípur, gildrur, lokastýringar og önnur tómarúm hluti. Það útilokar einnig bilun þessara þátta.

(3) Sterk gasflutningsgeta

Flestar sameindadælur dælunnar hafa sterka hæfni til að skila léttum lofttegundum eins og vetni og helíum, sem gerir þær tilvalin fyrir vinnsluferli undir öfgafullt hátt lofttæmi. Samhverf dælubúnaður sem er sérstaklega hönnuð til að fjarlægja ætandi lofttegundir er hentugur fyrir etsning, hvarfjón jónaskipti, jónabjálkavirkjun, lágþrýsting efna gufuútfellingu, epitaxy og jón ígræðsluferli. Meðan á ferlunum stendur getur lofttegundin ryðjað cryogenic dælur, jóndælur, olíu í dreifingardælu og jafnvel eyðilagt stöðluðu óvarðar tóbó sameindadælurnar. Þar sem sameinda dælan tilheyrir flutningsdælunni verður dæla gasið ekki safnað í dælunni, þannig að það er hentugt fyrir ferlið við háan gas álag.

(4) Hentar fyrir Ultra High Vacuum Umsóknir

Góð samhverf dælubúnaður til að innsigla og afgasa er búinn tvíþrepa hringdælu með góðum árangri (eða sama frammistöðuþrýstingur). Endanlegt tómarúm getur náð 10 ^-9 til 10 ^-10 torr (133,3 til 13,33 nPa). Ef túbolósameindadælan er tengd við annan túrbólsameindadælu með því að nota málmþéttan og vel afgasaðan dæluna, er fullkominn þrýstingur hans venjulega 1 × 10 ^-10 til 1 × 10 ^-11 Torr (13,33 til 1,333 nPa) á milli. Og ólíkt cryogenic dælur eða jóndælur starfa tógó sameinda dælur við fullan dælurhraða undir öfgafullum lofttegundum.

(5) Gott frammistöðu við háan þrýsting

Inntaksþrýstingur sumra túrbóamólsdælur getur keyrt á milli 10 ^-1 og 10 ^-3 Torr (13,33 Pa til 133,3 mPa). Í þessum þrýstingi er ekki hægt að nota jóndælan, því að cryogenic dæla þarf að stilla dælurhraða eða reglulega endurnýjun og verk dreifingardælunnar verða óstöðug.

(6) Stuttur hringrásartími

Flestir múluþrýstiflöturnar, sérstaklega smærri, þurfa venjulega 1 ~ 3 mín til að ná eðlilegum hraða. Dælur fyrir mismunandi gerðir og gerðir eru ólíkar og geta verið lokaðar strax og geta orðið fyrir andrúmslofti.

(7) Venjuleg notkun í langan tíma

Í sumum forritum er eðlilegur notkunar tími sameindadælan túrbóma betri en við aðrar dælur. Vegna mikillar lofttegundar á gasi og loki leka, veldur því að cryogenic dæluið oft breytilegt bil endurnýjun eða jón dæla oft viðgerð, og einnig hægt er að nota túrbóma sameinda dæluna til að útrýma dæluolíu mengun tómarúmshólfið.