magnetrón sputtering aflgjafi með miðlungs tíðni

Tilkoma magnetrón sputtering aflgjafa með miðlægum tíðni er aðallega vegna miðunareitrunar og boga íkveikju meðan DC máttur viðbrögð sputtering. Bogasprúður birtist ekki aðeins í viðbragðsfremur sputtering, heldur getur það einnig komið fram í DC sputtering af málmum, sem leiðir til þess að yfirborðsformgerð húðarinnar er ekki nógu þétt, sem hefur alvarleg áhrif á stöðugleika kerfisins og gæði myndarinnar. Millitíðni sputtering aflgjafa með tvö stuttering miða sem álagið, tvö miða vinna til skiptis, þannig að sputtering miðar á sputtering hringrás í meira en hálfan tíma andstæða spennu með sputteringinu, gerðu fulla afhleðslu uppsafnaðs hleðslu á yfirborði miðaefnisins, er gagnlegt til að hefta bogaútbrot og yfirborð markareitrunar, sérstaklega hentugur fyrir hvarfumhverfið með himnulögum.
Í samanburði við DC aflgjafa, ef aflgjafa hefur einnig aðlögunaraðgerð tíðni og skylduferils (aðeins framleiðsla ferningsbylgju), hafa þessar tvær breytur einnig mikilvæg áhrif á húðunina.

IKS PVD fyrirtæki, skreytingar húðun vél, verkfæri húðun vél, sjón húðun mahcine, PVD tómarúm coting línu. Hafðu samband við okkur núna, E-mail: iks.pvd@foxmail.com