Inngangur af rekstri Aðferð Vacuum Coating Machine
Mar 03, 2018| The tómarúm húðun vél er húðfæri sem þarf að starfa við hærra tómarúm. Það er skipt í tvær tegundir af uppgufun og sputtering.
Uppgufunarhúðunarferlið er yfirleitt hitunarmarkmiðið, sem veldur því að yfirborðsþættir markmiðsins verða gufað með atóm- eða jónformi og afhent á undirlagsyfirborðinu, sem myndar þunnt kvikmynd í gegnum ferlið við myndun myndunar.
Sputtering lagið má einfaldlega skilja sem notkun rafeinda eða hár-orku leysir til bombardment miða og gera yfirborð hluti af miða vera sputtering í formi atóm eða jónir, og að lokum afhent á yfirborði undirlagsins, mynda þunnt kvikmynd í gegnum myndvinnsluferlið.
Notaðu skref:
1. Notkunaraðferð rafkerfisstýringaskápur fyrir tómarúmslag
(1) Opnaðu vatnsdæluna og loftgjafinn.
(2) Kveiktu á aðalvélinni.
(3) Opnaðu aflgjafann á búfelldælunni og lofttæmimælirinn, stöðu V1 stöðu lofttegundar, bíðið fyrir gildi þess minna en 10, og sláðu síðan inn í næsta aðgerð. Sennilega þarf fimm mínútur.
(4) Kveikja á vélrænni dælu, framkvæma fyrirframdæla, opna spennuaflsdæluna og virkja sameindadælu. Tómarúmsmælisrofa er breytt í stöðu V2. Eftir að dælan er dælt í minna en 2, hætta að dæla, og það mun taka 20 mínútur.
(5) Þegar lesin á sameindadælan í hverflinum eru mæld til að ná 250, er dæluinn lokaður, opnaðu síðan stuðningsdæluna og lofttegundirnar halda áfram að flýja. Aðeins eftir að lofttæmi hefur náð 2 × 10-3 er hægt að kveikja á aflgjafanum á rafrænu byssunni.
2. Rekstur tómarúmmáls vél
(1) Kveiktu á aðalvélinni.
(2) Opnaðu jafnframt rafeindabúnaðinn I og II aflgjafa: í samræmi við rafeindastýringu I máttur, tafarrof, og síðan tafarljós, máttur lampi og verndarljós kveikt. Eftir þrjár mínútur slokknar tafarljósið og öryggisljósið af. Ef bakhliðin er ekki lokuð eða rennsli gengisins er gallaður, þá mun verndarljósið alltaf vera á.
(3) Opna háan þrýsting, hár þrýstingur mun ná meira en 10KV, stilla geisla í um 200mA, skjöldur rist er 20V / 100mA, filament núverandi 1.2A, sveifla núverandi sveifla 1 ~ 1.7.
3. Lokun röð tómarúm húðun vél
(1) Slökktu á mælitækinu og sameindadælunni.
(2) Þegar sameindadælan sýnir allt að 50, er lofttæmiskúffan, bakpúða og vélræn dæla lokuð í röð. Sennilega þarf 40 mínútur.
(3) Þegar sameindadælan sýnir minna en 50, lokaðu búnaðinum.