Áhrif þrýstings á þrýstingi á uppsetningartíðni ZAO Thin Films

Mynd 2 sýnir afbrigði afgufunarhraða við mismunandi viðbrögðþrýsting. Aðferðarstærðirnir eru: Flæðihlutfall O2 og Ar er 3/20, úthitunarhiti er 200 ° C og úðunarorka er 140 W. Það má sjá að frásogshraði eykst fyrst og lækkar síðan með því að auka viðbrögð gasþrýstings, og það er hámarksafhæð sem svarar til ákjósanlegra hvarfagasþrýstings. Greiningin er sem hér segir: Annars vegar þar sem hvarfgassþrýstingurinn er staðsettur á lægra vinnusviði, eykst þéttleiki sameindanna í gasi og líkurnar á árekstri milli rafeinda og gas sameinda aukast þannig að orku rafeinda er hægt að skipta betur út meðal gas sameinda, og orka gas sputtering agnir eykst í samræmi við það. Á hinn bóginn stuðlar vaxandi viðbrögð gasþrýstingsins um að auka jónunarstigið og lækka plasmaþolið, aukið útblásturinn auk jónastríðsins og orku hraðbreytilegra rafeinda sem fara í bakskautið er dregið úr , þannig að rafeindinn skilar skilvirkni bakskautsins við rafeindatækkun og þá eykst útblásturshraði. Hins vegar, þegar hvarfgassþrýstingurinn er í hærra vinnusviði, mun úrgangshraði lækka með aukningu á hvarfgasþrýstingnum. Vegna þess að meðaltali frjálsa leiðin af atómum og jónum í glóðaútskriftinni fellur og líkurnar á bakspeglun og líkur á dreifingu með gasatómum (Ar) sputtered markatómanna eykst og veldur því að agnaorkan dregur úr og agnirnar flýja frá afhendingu svæðisins og aftur á yfirborðið af bakskautinu eftir margar árekstra, sem draga úr söfnun skilvirkni undirlagsins að sputter atóm. Þetta leiðir til lækkunar á afhendingu. Frá mynd 2 getum við séð að besta viðbrögð þrýstingur í þessari tilraun er um 0,7 Pa.

Mynd 2 Sambandið milli viðbrögðþrýstings og fráhvarfshraða

Mynd.2.1 Sambandið milli O2 flæðishraða og frásogshraða undir mismunandi viðbrögðum

Á ferlinum á mynd 2 eru tveir punktar 0,5 Pa og 0,9 Pa valnir og plotted sem mynd 2.1, og aðrar ferli breytur haldast það sama. Það er hægt að komast að því að þegar þrýstingur eykst stendir tveir bendipunktarnir í átt að mikilli flæði, hlutfall málmsmyntanna eykst og fyrirbæri eitrunar eitrunar er létta en úrgangshraðinn er ennþá minnkaður hratt.