Flokkun jóngeislavinnslu
Dec 04, 2019| Flokkun jóngeislavinnslu
Eðlisfræðilegur grundvöllur vinnslu jóngeisla er höggáhrif, sputtering áhrif og innspýtingaráhrif þegar jón geisla kemur á yfirborð efnisins. Það eru venjulega fjórir flokkar:
Ég á ætingu
Þegar argónjónir með orku 0,1 ~ 5keV og þvermál nokkurra tíunda af nanómetri eru notaðir til að sprengja yfirborðið á verkstykkið, fer orkan sem flutt er með þessari orku jón yfir bindiskraft atóm (eða sameindir) á vinnustykkinu yfirborðinu, frumeindirnar (eða sameindirnar) á yfirborði efnisins eru spruttar út eitt af öðru til að ná vinnslu tilganginum. Þessi vinnsla er í meginatriðum skurðarferli í lotukerfinu, oft kallað jónfræsing.
Hægt er að nota jón ætingu til að vinna úr grópum af loftlagnum, kýlaholum, vinnslu á mjög þunnu efni og öfgafullri, nákvæmri asfrænu linsu og einnig er hægt að nota það til að æta grafík samþættra rafrásir með mikilli nákvæmni.
IKS PVD Rafeindgeisla sjónhúðun vél ， IKS-OPT2700, frekari upplýsingar, velkomið samband iks.pvd@foxmail.com