Grunnþekking á tómarúmi

Grunnþekking á tómarúmi

IKS PVD, pvd tómarúm húðun búnað framleiðslu, hafðu samband við okkur núna, til að fá frekari upplýsingar um tómarúm húðun.

.

Aðferðir til líkamlegrar gufuútfellingu (PVD), svo sem uppgufun, sputtering og jónútfellingu, er aðeins hægt að veruleika undir lofttæmi.

Undirbúningur nútíma þunnt kvikmyndarefnis, hvort sem er í líkamlegri gufuútfellingartækni (PVD) eða efnafræðileg gufuútfellingartækni (CVD), felur í sér gasfasa kynslóð, flutning, viðbrögð, þéttingu, frásog og önnur ferli við lofttæmi. Þess vegna er grunnþekkingu tómarúm sem taka þátt í undirbúningi þunnra kvikmynda stuttlega kynnt í þessari grein.

Grunnþekking á tómarúmi

Notkun ytri afl til að fjarlægja gas sameindirnar í ákveðnu lokuðu rými, þannig að þrýstingurinn í rýminu sé minna en ein andrúmsloftsþrýstingur, þá er líkamlegt ástand gassins í geimnum kallað tómarúm.

Árið 1643 sýndu fræga loftþrýstingsforsókn Torricelli í fyrsta skipti að í ljós kom að tómarúm, lágþrýstingur, þunnur gasfræðilegur ástand, og fékk skilgreiningu á andrúmsloftsþrýstingi (þrýstingurinn sem myndast við 76 mm kvikasilfursúlu er skilgreind sem 1atm) og Grundvöllur tómarúmsmælingar.

Tómarúmshæðin er táknuð með þrýstingi gassins og upphafseining lofttegunda er mmHg (1atm = 760mmHg).

Árið 1958, til minningar um Torricelli, voru fyrstu fjórar bréfin í nafninu Torr notað til að skipta um mmHg sem eining tómarúmshraða (1 torr = 1 mmHg).

Centimeter-gram-second (CGS) kerfið var einnig samþykkt með bar sem einingin (1bar = 1 x 105Pa) og algengari mbar (1mbar = 100Pa).

Á þessari stundu, með stöðugleika framvindunnar, er alþjóðlegt einingarkerfi (SI kerfi, þ.e. MKS kerfi) smám saman ríkjandi og tómarúm gráður tekur Pa sem einingin (1atm = 1.013 * 105Pa).

Mundu að tómarúmið í sviga er venjulega breytt í einingar og mamma þarf ekki að hafa áhyggjur af því að ég verði ruglaður af mismunandi einingum í bókmenntum.

Vacuum kaup

Til dæmis, þegar þú drekkur drykk í gegnum hálmi, þá er meginreglan sú að við sogum loftið í stráið og búið til lofttæmi inni í hálmi (þrýstingurinn inni í hálmi er minni en ytri loftþrýstingur). Undir áhrifum þrýstings munur ýttu á drykkinn inni í dósinni í munninn með hálmi.

Á sama hátt getur við undirbúning nútíma þunnt kvikmyndarefnis aukið tómarúm sem þarf til að "sogast" í burtu frá loftinu sem er afhent í herberginu með tæki sem við köllum tómarúmsdælu.

Samkvæmt vinnubrögðum lofttæmipúlsins má skipta henni í tvo flokka: gasflutningsdæla (gas er stöðugt andað og losað úr tómarúmi dælu til að ná tilgangi útblásturs) og gasfyllingardæla (með virku kolefni og öðrum innblástursefni og kælibúnaðartæki sem sogast í burtu af gasameindum í dælustöðinni). Samkvæmt dæluþrýstingsdælunni getur verið skipt í fyrsta áfanga dælunnar (hátt byrjunarþrýstingur) og eftir stig dælunnar (lágt byrjunarþrýstingur).

Útlit og innri uppbygging snúningsvéla vélrænna dælu er sýnd á mynd 1. Það er eins konar gasflutningsdæla, sem getur unnið beint frá andrúmsloftsþrýstingi. Það er algengt framdrætti dæla.

Mynd 1 vélræn dæla útlit og innri uppbyggingu skýringarmynd

Verklagsreglan um vélræna dæluna er að nota snúning snúnings vélrænna hreyfanlegra hluta á sérhjóladrifinu til að ná fram tilgangi innblásturs-þjöppunar-útblásturs, eins og sýnt er á mynd 2 (gráu punktarnir á myndinni tákna loftið ).

FIG. 2 skýringarmynd af vinnandi meginreglunni um vélrænni dælu

Turbomolecular dæla er eins konar hár-hæð dæla myndast af nútíma tómarúm tækni fyrir kröfur olíu-frjáls og hár-tómarúm umhverfi. Það er eins konar gasflutningsdæla. Hins vegar er upphaflega vinnuþrýstingur þess krafist að vera minna en 1Pa. Útlit hennar og innri uppbygging er sýnd á mynd 3.

FIG. 3 útliti og innri uppbygging múludælunnar

Í sameinda dælunni í hverflinum eru flæðistraumar og stöflur með mismunandi snúningum og stöfum fluttar og blaðhraði blaðsins er allt að 20000 ~ 60000k r / mín. Gasameindirnar, sem fluttar eru frá efri blaðinu, verða þjappað enn frekar í neðri undir aðgerð neðri blaðsins, þ.e. hreyfiorka er stöðugt flutt til gasameindanna með árekstri og gasasameindirnar verða þjappaðir og losaðir úr skrefum skref eftir að hafa verið búinn til með hreyfiorku, eins og sýnt er á myndinni. 4.

FIG. 4 vinnandi meginregla um hverfla dælunnar

Það er þess virði að minnast á að í því að undirbúa kvikmyndina, stýrðu ekki mólmælisdælunni beint, því að í lágþrýsti (fleiri andrúmsloftar sameindir) er skilyrði að sameinda dælublað sé auðvelt að skemmast, fannst stjóri gagnrýnt lítið, ef sameinda dælan springa skaða á eigin máli getur ekki verið hagkvæman. Svo er mikilvægt að muna að opna vélrænni dælu og aðra dælu fyrir stig, til að fá ákveðna tómarúm fyrir notkun sameindadælunnar.

Vacuum mæling

Til þess að skilja tómarúmshraða (loftþrýsting) í útblásturshólfið í rauntíma, þarf tómarúmsmælir (tómarúmsmælir) í undirbúningi kvikmyndarinnar.

Samkvæmt meginreglunni um mælingu á lofttæmismælingu má skipta henni í alger tómarúmsmæli (ákvarða strax þrýstingsgildi í ákveðnu rými) og hlutfallslegt tómarúmsmælir (fyrst mæla annað líkamlegt magn sem tengist þrýstingnum, eftir að umbreytingin hefur náð þrýstingsgildi ). Vegna þess að tómarúmsmælir er auðvelt að mæla, er það oft notað til að mæla tómarúmshraða kvikmyndaálags.

Eins og áður hefur verið nefnt, hefur lofttæmidælan strangar kröfur um tómarúmssviðið, á sama hátt, mismunandi lofttegundir, þarf að nota mismunandi tómarúmsmæla til að mæla.

Pirani tómarúm mál er oft notað fyrir lágt tómarúm mæling, sem er bætt form af thermoouple tómarúm mál. FIG. 5 er skýringarmynd af vinnubrögðum. Það eru tvö sett af þráðum í túpunni. Þegar tveir hópar filament eru orkugjafar og upphitaðir, er hitastigshraði á filamentið einnig öðruvísi vegna þess að munurinn er í þéttleiki lofthjúpsins. Þess vegna er viðnám þessara tveggja hópa filamenta öðruvísi vegna mismunandi hitastigs og núverandi flæði í gegnum filament mun einnig breytast í samræmi við það. Vegna föstu loftþrýstings við viðmiðunarlokann, eru hitastig, viðnám og straumur á viðmiðunarhlutanum óbreytt, þannig að hægt er að ná tómarúmshæðinni í holrinu sem hægt er að mæla með samanburði.

FIG. 5 skýringarmynd af vinnubrögðum pípani tómarúmsmælis

Mælikviðið á háu tómarúm samþykkir jónunar tómarúmsmæli, sem þarf að nota ásamt píanani og öðrum lágt tómarúmsmæli. Jónunarþrýstimælirinn samanstendur aðallega af þremur rafskautum: bakskaut (filament), rafskaut og jónasamari. Verklagsreglan hennar er sýnd á mynd 6. Rafeindir sem eru gefin út úr heitu bakskautinu flýta fyrir ristinni, leggja í bága við og jónandi sameindir gassins í vegi þeirra. Þegar rafeindir eiga sér stað til að flýta og hægja á sér, verða þeir að lokum föstir með því að fjarlægja stöngina. Í því ferli við rafeindahreyfingu sveiflur verða jónir sameindir stöðugt og gasjónir fljúga til jónasöfnunarpóla til að mynda lykkjustraum. Þegar um er að ræða fasta katódos losun núverandi og fasta gas tegund, jón núverandi styrkleiki mun aðeins ráðast á þrýstingi jónað gas og hægt er að breyta tómarúm gráðu í afhendingu herbergi með jón núverandi styrkleiki.

FIG. 6 skýringarmynd af vinnandi meginreglunni um jónunar tómarúm mál

Með innleiðingu þessarar greinar teljum við að við höfum undirstöðu skilning á skilgreiningu á tómarúmi, breytingu á mismunandi einingum og kaup og mælingu á tómarúmi.