Bakstur - þáttur sem hefur áhrif á tómarúmskerfið

Til baka, Til þess að ná þrýstingi í mjög háu lofttæmi bilinu ( ^10-8 hPa) verður að uppfylla eftirfarandi skilyrði:

1. Endanlegt tómarúm lofttæmiskúlsins skal vera minna en 10 sinnum nauðsynlegur fullkominn þrýstingur.

2. Efnið sem notað er fyrir tómarúmskammt og íhluti verður að vera bjartsýni til að lágmarka útblástur og það ætti að hafa viðeigandi yfirborðsmeðhöndlun.

3. Nota skal málmþéttingar (til dæmis CF flans tengingar eða ISO flans staðlaða Helicoflex seli).

4. Þrif er nauðsynlegt fyrir öfgafullt hátt tómarúm. Öllum hlutum verður að vera vandlega hreinsað fyrir uppsetningu og rekstraraðilar þurfa að vera með fituhanskar þegar þær eru settar upp.

5. Búnaður og stórt lofttæmidælur verða að vera bakaður.

6. Forðast skal leka og fjarlægja það áður en hitari er hafin. Í þessu skyni verður að nota helíum leka skynjari eða quadrupole massagreiningu.

7. Bakstur verulega eykur frásogshraða og dreifni, og það leiðir til þess að sogtími er styttur. Sem lokastig framleiðsluferlisins getur UHV hólf brotið niður við 900 ° C hitastig. Síðari bakstur hitastig getur náð 300 ° C. Leiðbeiningar dælur framleiðandans fyrir hæsta bakkuhita á háþrýstivatnsdælan flæða yfirleitt hámarkshitastigið við vinnu við 120 ° C. Ef hitaeining (til dæmis geislunarhitun) er notaður í lofttæmiskúpu skal hlíta leyfilegri geislunarvirkni.

8. Búnaðurinn er tekinn í notkun eftir uppsetningu. Eftir að hitinn hefur náð 10 ^-5 hPa skal kveikja á hitanum. Á hitunarferlinu var lofttæmimælirinn stjórnað og afgassað á 10 klukkustundum. Ef ryðfríu stáli ílát og málmþétti með viðeigandi yfirborðsmeðhöndlunartölu eru notaðar, er bakstur hitastig 120 ° C og upphitunartími um 48 klukkustundir nægjanlegt til að ná þrýstingi ^10-10 hPa.

9. Bakstur ætti að halda áfram þar til það nær 100 sinnum áætluðu fullkomnu þrýstingi. Slökktu síðan á dæluna og lofttæmiskúnaðinn. Eftir kælingu er líklegt að hægt sé að ná fram fullkominni þrýstingi. Við þrýsting undir 5x10 ^-10 hPa, mun stórt innra yfirborðsvæði vera hagkvæmt til að nota gas tengda dæluna (títan undirlimunardæla) sem dælur út vetni sem sleppur úr málmi við mikla rúmmáli.