Notkun raf uppgufun

Notkun rafeindgeisla uppgufun - undirbúningur TiO 2 filmu með uppgufun rafgeisla

Upphúðunarregla rafeindgeisla uppgufun til að búa til TiO 2 filmu, með INTEGRITY-39 sjálfvirka sjónhúðunarkerfinu með jóngeisla undirbyggingu rafeindgeisla uppgufun eins og sýnt er á myndinni hér að neðan.

0010010 nbsp; 1. Kælivatnsinntak; {{2}}. Kælivatnsúttak; 3. Deiglan; 4. Geisla spólu; 5. Rafeindgeisla sendandi; 6. Upphitunarlampi; 7. Undirlagsgrind; 8. Mótorinn; 9. Eftirlitsmynd; 1 0. Vinnuspenning sýnishorns rafeindabyssu unnin með jónagjafa er 1 0 kV, straumurinn er {{2}} 00 A, og útfellingarhitastig lofttæmishólfsins er 1 45 ~ 1 55 ℃. Svart kornótt Ti 2 O 3 með hreinleika 9 9. 99% var valið fyrir himnaefnið. Cc - 1 05 kalt bakskaut jón geisla var notað til viðbótarútfellingu. Við útfellingu var lofttæmishólfið fyllt með O 2 með hreinleika 9 9. 99% sem hvarfgas. Áður en hjúpurinn er lagður er hreinsað undirlagið með glerlausn, skolað með afjónuðu 0010010 nbsp; vatn, og þurrkað með köfnunarefni. Síðan er undirlagið hreinsað með 99. 9% aseton og vatnsfríri etanól ultrasonic bylgju í 15 mínútu hvor. Eftir þurrkun með sérstökum þurrkupappír er það sett í lofttæmishólfið. Þegar lofttæminu er dælt til {{{{6 6}}}}. 5 × 10-4pa með vélrænni dælu og dreifidælu er sjálfvirka málunarferlið stillt. Þegar undirlagið er hitað að botnhitanum 1 5 0 ℃ byrjar jóngjafinn að bomba undirlagið og orkunni er stjórnað við {{5}} 0 ~ 9 0 eV í 10 mín.

þá er rafeindabyssan sjálfkrafa byrjað að hitna og gufa upp filmuefnið og útfellingarhraðinn er 0. 38 ~ 0. 42 nm / s. Þegar myndinni er komið fyrir í hönnunarþykkt 440 nm lokar forritið sjálfkrafa rafeindabyssunni og málun er lokið. Eftir húð var tómarúmshólfið náttúrulega kælt niður í stofuhita og sýnið var tekið út. Litrófunarprófun á sýni TiO 2 var gerð með Lambda 900 (prófasvið 175 ~ 3 300 nm) litrófsmæli. Raunveruleg þykkt, útrýmingarstuðull og brotstuðul TiO 2 kvikmyndar voru reiknuð með Macleod umslagi hugbúnaðaraðferðar. Áhrif mismunandi tómarúmgráða á myndun myndarinnary, ljósbrotsstuðull og frásogstuðull TiO 2 voru rannsakaðir með mismunandi flæði súrefnis súrefnis inn í lofttæmishólfið. Þegar TiO 2 þunn filmu er komið fyrir með uppgufun með aðstoð jónagjafa við mikla lofttæmisgráðu, er breyting á lofttæmisgráðu með yfirferð súrefnis skráð í eftirfarandi töflu. Þar sem súrefnis sameindir í lofttæmishólfinu eru jónaðir í súrefnisjón og hvarfast við Ti {{2}} O 3 gufu sameindir að fullu, glatast súrefnið í niðurbroti Ti {{{{4} }}} O 3 er endurnýjuð og TiO 2 sem myndast í myndinni er tiltölulega hreinn. Ef súrefnisbirgðirnar eru ófullnægjandi eða viðbrögðin milli Ti {{2}} O 3 og O 2 eru hins vegar ófullnægjandi, er títanoxíðfilm tino {{{{ 4}}}} n - 1 (n=1, {{2}, ..., 1 0). Með aukningu á súrefnisflæði eykst líkurnar á árekstri milli TiO 2 gufu sameindir og súrefnis sameindir við uppgufunarhækkun og orka tapast, sem dregur úr hreyfiorku TiO 2 sem er sett á undirlagið yfirborð og hefur áhrif á viðloðun og þéttingu afhentu kvikmyndarinnar. Fyrir sjón þunnar kvikmyndir getur jónagjafahjálpin aukið hreyfiorku sameindanna á yfirborði undirlagsins, ekki aðeins haft veruleg áhrif á brotstuðul myndarinnar, heldur getur hún einnig bætt þéttleika filmunnar og rakaþol, og kvikmyndin viðloðun á undirlaginu er einnig verulega bætt.

IKS-OPT2700 optical E-gun vacuum coating machine，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com